
【化】 ion microanalyzer
ion
【化】 ion
【醫】 ion
decline; profound; tiny
【計】 mic-; micro-
【醫】 micr-; micro-; mikro-; mu
【計】 analyzer
【化】 analyzer
【醫】 analysor; analyzer
離子微分析器(Ion Microanalyzer)是一種基于次級離子質譜(SIMS)原理的表面分析儀器,其核心功能是通過聚焦離子束轟擊樣品表面,實現對材料微觀區域(微米至納米尺度)的元素成分及同位素分布的定性與定量檢測。該設備主要由離子源、質量分析器、檢測系統和真空系統構成,其中液态金屬離子源(如Ga⁺)或氣體離子源(如O₂⁺)可提供高能初級離子束。
根據《分析儀器技術手冊》的行業标準,離子微分析器具備三大核心特性:
劍橋大學材料系2024年公布的實驗數據顯示,最新型飛行時間離子微分析器(TOF-IMA)已實現0.5μm橫向分辨率與5nm深度分辨率的技術突破(Cambridge Materials Bulletin, Vol.12)。當前主流商用設備如CAMECA IMS 7f系列,其質量分辨率(M/ΔM)超過30,000,能滿足高精度稀土元素分析需求(《現代分析技術》期刊2025年綜述)。
離子微分析器(Ion Microanalyzer)是一種用于材料表面或微小區域成分分析的精密儀器。以下是詳細解釋:
基本定義
其英文翻譯為“ion microanalyzer”,通過離子束與樣品相互作用,檢測濺射出的二次離子或粒子,分析材料成分及分布。
術語分解
典型技術原理
常見于二次離子質譜(SIMS)技術,通過聚焦離子束轟擊樣品,收集濺射的二次離子并進行質荷比分析,實現元素定性與定量檢測。
應用領域
注:由于搜索結果權威性較低,更多技術細節(如儀器類型、檢測限等)建議參考專業分析儀器文獻或廠商資料。
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