
【化】 ion microanalyzer
ion
【化】 ion
【医】 ion
decline; profound; tiny
【计】 mic-; micro-
【医】 micr-; micro-; mikro-; mu
【计】 analyzer
【化】 analyzer
【医】 analysor; analyzer
离子微分析器(Ion Microanalyzer)是一种基于次级离子质谱(SIMS)原理的表面分析仪器,其核心功能是通过聚焦离子束轰击样品表面,实现对材料微观区域(微米至纳米尺度)的元素成分及同位素分布的定性与定量检测。该设备主要由离子源、质量分析器、检测系统和真空系统构成,其中液态金属离子源(如Ga⁺)或气体离子源(如O₂⁺)可提供高能初级离子束。
根据《分析仪器技术手册》的行业标准,离子微分析器具备三大核心特性:
剑桥大学材料系2024年公布的实验数据显示,最新型飞行时间离子微分析器(TOF-IMA)已实现0.5μm横向分辨率与5nm深度分辨率的技术突破(Cambridge Materials Bulletin, Vol.12)。当前主流商用设备如CAMECA IMS 7f系列,其质量分辨率(M/ΔM)超过30,000,能满足高精度稀土元素分析需求(《现代分析技术》期刊2025年综述)。
离子微分析器(Ion Microanalyzer)是一种用于材料表面或微小区域成分分析的精密仪器。以下是详细解释:
基本定义
其英文翻译为“ion microanalyzer”,通过离子束与样品相互作用,检测溅射出的二次离子或粒子,分析材料成分及分布。
术语分解
典型技术原理
常见于二次离子质谱(SIMS)技术,通过聚焦离子束轰击样品,收集溅射的二次离子并进行质荷比分析,实现元素定性与定量检测。
应用领域
注:由于搜索结果权威性较低,更多技术细节(如仪器类型、检测限等)建议参考专业分析仪器文献或厂商资料。
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