
【化】 ion scattering spectroscopy; ISS
離子散射能譜(Ion Scattering Spectroscopy,ISS)是一種基于離子與固體表面原子相互作用原理的表征技術,主要用于分析材料表面成分及結構。當高能離子束(如氦離子或氩離子)入射到樣品表面時,其與表層原子發生彈性碰撞,通過測量散射離子的能量分布,可反推出表面原子的質量、排列方式及化學狀态。
該技術的特點包括:
$$ frac{E}{E_0} = left( frac{cosθ + sqrt{(M_2/M_1) - sinθ}}{1 + M_2/M_1} right)
$$
精确區分元素((E_0)為入射能量,(M_1)、(M_2)分别為入射離子和靶原子質量)。
在半導體工藝和催化劑研發中,ISS常與X射線光電子能譜(XPS)聯用,實現表面成分與化學态的綜合分析。其發展可追溯至1967年Smith的開拓性實驗,現已被納入ISO 18118國際标準作為表面分析标準方法。
離子散射能譜(Ion Scattering Spectroscopy, ISS)是一種通過分析入射離子與材料表面原子彈性碰撞後的能量分布,來獲取表面成分和結構信息的技術。以下是其核心要點:
離子與表面原子發生彈性碰撞時,遵循能量和動量守恒定律。散射離子的能量損失與靶原子的質量相關,通過測量散射離子的動能分布,可反推出表面原子的種類和質量。
根據入射離子能量分為兩類:
如需進一步了解實驗裝置或具體案例,可參考、6、8的原始資料。
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