矽基座英文解釋翻譯、矽基座的近義詞、反義詞、例句
英語翻譯:
【計】 silicon pedestal
分詞翻譯:
矽的英語翻譯:
silicon
【醫】 Si; silicium; silicon
基座的英語翻譯:
【化】 foundation bed; foundation support
專業解析
矽基座(Silicon Substrate)是半導體制造領域的核心基礎材料,指以高純度單晶矽為基底制作的晶圓載體,主要用于集成電路(IC)和微電子機械系統(MEMS)的加工。以下為關鍵釋義:
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技術定義
矽基座通過化學氣相沉積(CVD)或物理抛光工藝形成平整表面,其晶格結構需滿足原子級精度要求,為光刻、蝕刻等工藝提供物理支撐(來源:中國科學院半導體研究所《半導體材料技術手冊》)。
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功能特性
- 熱穩定性:矽的導熱系數達149 W/(m·K),确保芯片封裝散熱需求
- 電學性能:電阻率可控制在0.001-1000 Ω·cm範圍,適應不同器件要求
- 表面粗糙度:先進抛光技術可達0.2nm以下,滿足5nm制程需求(來源:IEEE《電子器件彙刊》第72卷)。
- 産業應用
據SEMI統計,2024年全球300mm矽基座出貨量達783萬片,主要應用于:
- 邏輯芯片(FinFET架構)
- 存儲器件(3D NAND)
- 功率半導體(SiC外延生長)
(來源:國際半導體産業協會年度報告)。
- 标準規範
中國國家标準GB/T 12962-2024規定,半導體級矽基座需滿足:
- 金屬雜質含量<1×10¹⁰ atoms/cm³
- 氧濃度波動範圍±3%
- 彎曲度≤15μm/300mm
(來源:全國半導體材料标準化技術委員會)。
網絡擴展解釋
"矽基座"(Silicon Pedestal)是電子工程領域中的專業術語,主要用于半導體封裝和光電器件制造。以下是其詳細解釋:
1.基本定義
矽基座指以矽材料為基礎制造的支撐結構,通常作為電子元器件的載體或封裝基闆。其英文對應術語為"silicon pedestal",屬于計算機和微電子領域的常用詞彙。
2.結構與組成
根據技術文檔描述(),典型矽基座包含以下結構:
- 重摻雜矽基闆:作為導電基底,提供機械支撐和電氣連接;
- 溝槽陣列:在基闆表面蝕刻形成的微型溝槽,用于增加表面積;
- 介電層:覆蓋在溝槽表面的絕緣材料(如氧化矽),形成電容器結構;
- 上下電極:分别沉積在介電層和基闆底部,構成電容兩極。
3.應用場景
主要應用于高密度電子封裝領域,例如:
- 光通信器件:如光纖接收器中光二極管的非接地絕緣封裝;
- 電容集成:替代傳統TO-46金屬罐封裝,解決空間限制問題;
- 3D封裝技術:通過嵌入式電容提升器件集成度和性能。
4.技術優勢
與傳統金屬基座相比,矽基座具有:
- 更高的電容密度:溝槽結構使表面積增加數十倍;
- 更優的散熱性:矽材料導熱性能優于金屬;
- 兼容半導體工藝:可直接與芯片制造流程集成。
數據補充
矽基座的典型尺寸在毫米級,但通過微納加工技術可實現亞微米級溝槽結構,使單位面積電容值提升至傳統結構的100倍以上。
分類
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