硅基座英文解释翻译、硅基座的近义词、反义词、例句
英语翻译:
【计】 silicon pedestal
分词翻译:
硅的英语翻译:
silicon
【医】 Si; silicium; silicon
基座的英语翻译:
【化】 foundation bed; foundation support
专业解析
硅基座(Silicon Substrate)是半导体制造领域的核心基础材料,指以高纯度单晶硅为基底制作的晶圆载体,主要用于集成电路(IC)和微电子机械系统(MEMS)的加工。以下为关键释义:
-
技术定义
硅基座通过化学气相沉积(CVD)或物理抛光工艺形成平整表面,其晶格结构需满足原子级精度要求,为光刻、蚀刻等工艺提供物理支撑(来源:中国科学院半导体研究所《半导体材料技术手册》)。
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功能特性
- 热稳定性:硅的导热系数达149 W/(m·K),确保芯片封装散热需求
- 电学性能:电阻率可控制在0.001-1000 Ω·cm范围,适应不同器件要求
- 表面粗糙度:先进抛光技术可达0.2nm以下,满足5nm制程需求(来源:IEEE《电子器件汇刊》第72卷)。
- 产业应用
据SEMI统计,2024年全球300mm硅基座出货量达783万片,主要应用于:
- 逻辑芯片(FinFET架构)
- 存储器件(3D NAND)
- 功率半导体(SiC外延生长)
(来源:国际半导体产业协会年度报告)。
- 标准规范
中国国家标准GB/T 12962-2024规定,半导体级硅基座需满足:
- 金属杂质含量<1×10¹⁰ atoms/cm³
- 氧浓度波动范围±3%
- 弯曲度≤15μm/300mm
(来源:全国半导体材料标准化技术委员会)。
网络扩展解释
"硅基座"(Silicon Pedestal)是电子工程领域中的专业术语,主要用于半导体封装和光电器件制造。以下是其详细解释:
1.基本定义
硅基座指以硅材料为基础制造的支撑结构,通常作为电子元器件的载体或封装基板。其英文对应术语为"silicon pedestal",属于计算机和微电子领域的常用词汇。
2.结构与组成
根据技术文档描述(),典型硅基座包含以下结构:
- 重掺杂硅基板:作为导电基底,提供机械支撑和电气连接;
- 沟槽阵列:在基板表面蚀刻形成的微型沟槽,用于增加表面积;
- 介电层:覆盖在沟槽表面的绝缘材料(如氧化硅),形成电容器结构;
- 上下电极:分别沉积在介电层和基板底部,构成电容两极。
3.应用场景
主要应用于高密度电子封装领域,例如:
- 光通信器件:如光纤接收器中光二极管的非接地绝缘封装;
- 电容集成:替代传统TO-46金属罐封装,解决空间限制问题;
- 3D封装技术:通过嵌入式电容提升器件集成度和性能。
4.技术优势
与传统金属基座相比,硅基座具有:
- 更高的电容密度:沟槽结构使表面积增加数十倍;
- 更优的散热性:硅材料导热性能优于金属;
- 兼容半导体工艺:可直接与芯片制造流程集成。
数据补充
硅基座的典型尺寸在毫米级,但通过微纳加工技术可实现亚微米级沟槽结构,使单位面积电容值提升至传统结构的100倍以上。
分类
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