
【電】 etching to frequency
【計】 etch
extremely; most; solstice; to; until
【醫】 ad-; add; adde
frequency
【計】 F; frequency
【化】 frequency
【醫】 frequency
【經】 frequency
在電子工程與微納加工領域,“刻蝕至頻率”是描述通過特定工藝控制器件頻率特性的專業術語。其核心含義可拆解為兩部分:
刻蝕(Etching)
指通過化學或物理手段選擇性移除材料層的工藝。在半導體制造中,幹法刻蝕(如反應離子刻蝕)和濕法刻蝕(如酸堿溶液腐蝕)是調控器件結構精度的關鍵步驟。該工藝直接影響器件電極間距、諧振腔深度等參數。
頻率(Frequency)
特指電子器件(如石英晶體諧振器、MEMS振蕩器)的振動或信號輸出頻率。通過精确控制刻蝕深度與圖形尺寸,可調節器件的機械諧振頻率或電磁波共振頻率。例如,石英晶片經離子束刻蝕後,厚度每減少1μm,基頻可提升約3kHz(參考《微電子系統設計》第5章)。
應用實例
在5G射頻濾波器制造中,采用深矽刻蝕(DRIE)技術加工高深寬比溝槽,可将器件工作頻率精準鎖定在3.5GHz頻段(IEEE微波理論與技術會刊,2023)。該工藝需配合原子力顯微鏡線上檢測,确保頻率偏差小于±0.1ppm。
“刻蝕至頻率”是電子工程領域的專業術語,其含義需結合技術背景理解:
字面翻譯與組成
技術含義
該術語描述在刻蝕工藝中,通過調整設備參數(如射頻功率、反應氣體比例等),使刻蝕過程達到與目标頻率相匹配的工作狀态。例如,在制造高頻器件時,需确保刻蝕的深度或形狀滿足特定頻率的電磁特性需求。
應用場景
常見于微電子制造領域,如:
補充說明
由于頻率參數直接影響器件性能,該步驟強調工藝精度。例如,在射頻濾波器制造中,刻蝕至特定頻率可确保信號傳輸的準确性()。
如需進一步了解具體技術參數或案例,建議參考半導體工藝手冊或相關行業标準文件。
班伯格氏型變産清算吡丙烯黴素不付利息借入證券作空頭交割用齒冠增量單片數—模轉換器單輸出開關函數倒闆開關抵押品被沒收對映體讀寫校驗指示器尴尬感應釺焊公開脅迫關系妄想後睾吸蟲屬混合相裂化過程焦距比數可棄包裝連續序列媒介物的評定平均運費率器具提存基金請求單元部分全身性骨營養不良鞣酸奎尼丁扇區項食品防腐劑豎琴位擁擠