
【機】 air film table
【機】 air film
desk; table; workbench; worktable
【機】 workbench; working table
空氣膜工作台(Air Bearing Table / Air Film Worktable)是一種利用空氣動力學原理實現高精度、無摩擦支撐與定位的工業設備平台。其核心原理和工作方式如下:
空氣膜工作台指通過壓縮氣體(通常為空氣)在平台與工件接觸面間形成極薄氣膜(通常為微米級),使工件懸浮于平台上方,實現近乎零摩擦的平移或旋轉運動。其英文對應術語為:
技術原理:
根據氣體動力學理論,壓縮空氣經微孔陣列或溝槽結構注入平台表面,形成均勻壓力分布的氣膜。該氣膜産生的升力($Flift$)可表述為:
$$
F{lift} = frac{P cdot A}{h} cdot C
$$
其中 $P$ 為氣壓,$A$ 為有效面積,$h$ 為氣膜厚度,$C$ 為流導系數。此公式表明氣膜剛度與氣壓正相關,與膜厚負相關(參考:美國機械工程師協會《Tribology Transactions》)。
氣膜隔離機械接觸,消除靜摩擦與磨損,適用于納米級定位場景(如光刻機晶圓台)。
氣膜自調節特性可補償平台微小形變,典型平面度達±0.5μm/m²(來源:清華大學精密儀器系實驗報告)。
無潤滑劑需求,避免微粒污染,適用于半導體、光學器件制造(ISO Class 1-3潔淨室驗證)。
"空氣軸承工作台:利用壓縮空氣形成支撐氣膜,實現無摩擦運動的精密定位裝置。"
"Air bearing tables provide motion accuracy below 0.1 arc-second through aerostatic film damping."
中文 | 英文術語 |
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空氣膜工作台 | Air Bearing Table |
氣膜厚度 | Air Film Thickness |
微孔節流器 | Porous Media Restrictor |
氣浮剛度 | Aerostatic Stiffness |
(術語來源:國際生産工程科學院《CIRP Encyclopedia of Production Engineering》)
關于“空氣膜工作台”這一術語,目前公開檢索到的信息有限。根據現有資料推測,其可能指以下兩種技術結合的概念:
基礎概念:工作台
根據,傳統工作台是堅固的工業操作平台,通常具備承重性強(如1000kg)、模塊化設計(可搭配吊櫃、抽屜等配件)及適應多種工作場景的特點。
“空氣膜”的可能技術關聯
由于“空氣膜工作台”并非标準術語,建議結合具體行業背景進一步核實。若涉及精密制造、半導體或實驗室設備,可能需要咨詢專業設備供應商以獲取準确技術定義。
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