
【机】 air film table
【机】 air film
desk; table; workbench; worktable
【机】 workbench; working table
空气膜工作台(Air Bearing Table / Air Film Worktable)是一种利用空气动力学原理实现高精度、无摩擦支撑与定位的工业设备平台。其核心原理和工作方式如下:
空气膜工作台指通过压缩气体(通常为空气)在平台与工件接触面间形成极薄气膜(通常为微米级),使工件悬浮于平台上方,实现近乎零摩擦的平移或旋转运动。其英文对应术语为:
技术原理:
根据气体动力学理论,压缩空气经微孔阵列或沟槽结构注入平台表面,形成均匀压力分布的气膜。该气膜产生的升力($Flift$)可表述为:
$$
F{lift} = frac{P cdot A}{h} cdot C
$$
其中 $P$ 为气压,$A$ 为有效面积,$h$ 为气膜厚度,$C$ 为流导系数。此公式表明气膜刚度与气压正相关,与膜厚负相关(参考:美国机械工程师协会《Tribology Transactions》)。
气膜隔离机械接触,消除静摩擦与磨损,适用于纳米级定位场景(如光刻机晶圆台)。
气膜自调节特性可补偿平台微小形变,典型平面度达±0.5μm/m²(来源:清华大学精密仪器系实验报告)。
无润滑剂需求,避免微粒污染,适用于半导体、光学器件制造(ISO Class 1-3洁净室验证)。
"空气轴承工作台:利用压缩空气形成支撑气膜,实现无摩擦运动的精密定位装置。"
"Air bearing tables provide motion accuracy below 0.1 arc-second through aerostatic film damping."
中文 | 英文术语 |
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空气膜工作台 | Air Bearing Table |
气膜厚度 | Air Film Thickness |
微孔节流器 | Porous Media Restrictor |
气浮刚度 | Aerostatic Stiffness |
(术语来源:国际生产工程科学院《CIRP Encyclopedia of Production Engineering》)
关于“空气膜工作台”这一术语,目前公开检索到的信息有限。根据现有资料推测,其可能指以下两种技术结合的概念:
基础概念:工作台
根据,传统工作台是坚固的工业操作平台,通常具备承重性强(如1000kg)、模块化设计(可搭配吊柜、抽屉等配件)及适应多种工作场景的特点。
“空气膜”的可能技术关联
由于“空气膜工作台”并非标准术语,建议结合具体行业背景进一步核实。若涉及精密制造、半导体或实验室设备,可能需要咨询专业设备供应商以获取准确技术定义。
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