
【機】 scanning electron microscope
besom; clear away; sweep; whisk
take aim
electron
【化】 electron
【醫】 e.; electron
decline; profound; tiny
【計】 mic-; micro-
【醫】 micr-; micro-; mikro-; mu
lens; looking glass; mirror
【化】 mirror
【醫】 mirror; slass
掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,簡稱SEM)是一種利用聚焦電子束對樣品表面進行高分辨率成像的分析儀器。其工作原理是通過電子槍發射電子束,經電磁透鏡聚焦後掃描樣品表面,探測器接收二次電子、背散射電子等信號,最終形成三維立體圖像。相較于光學顯微鏡,SEM具有更高的分辨率(通常可達1-10納米)和更大的景深,能夠清晰呈現材料表面形貌、晶體結構及微觀成分分布。
該設備主要由電子光學系統(電子槍、電磁透鏡)、真空系統、信號檢測系統(如二次電子探測器)和圖像處理系統組成。在應用層面,SEM被廣泛應用于材料科學(如金屬斷口分析)、生物醫學(細胞結構觀測)、納米技術(納米顆粒表征)以及工業質檢(半導體芯片缺陷檢測)等領域。根據《顯微分析技術标準手冊》,現代SEM還可配備能譜儀(EDS)實現元素成分的定性與半定量分析。
權威參考資料:
掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)是一種基于電子束與樣品相互作用原理的高分辨率顯微成像技術,廣泛應用于材料科學、生物學、工業等領域。以下從定義、工作原理、技術特點和應用四個方面進行詳細解釋:
掃描電子顯微鏡通過聚焦的高能電子束掃描樣品表面,收集樣品激發的物理信號(如二次電子、背散射電子等),經處理後形成微觀形貌圖像。它結合了透射電子顯微鏡(TEM)和光學顯微鏡的優勢,分辨率可達1納米,放大倍數高達30萬倍。
如需更詳細信息,可參考相關學術文獻或儀器說明文檔。
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