
【机】 scanning electron microscope
besom; clear away; sweep; whisk
take aim
electron
【化】 electron
【医】 e.; electron
decline; profound; tiny
【计】 mic-; micro-
【医】 micr-; micro-; mikro-; mu
lens; looking glass; mirror
【化】 mirror
【医】 mirror; slass
扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是一种利用聚焦电子束对样品表面进行高分辨率成像的分析仪器。其工作原理是通过电子枪发射电子束,经电磁透镜聚焦后扫描样品表面,探测器接收二次电子、背散射电子等信号,最终形成三维立体图像。相较于光学显微镜,SEM具有更高的分辨率(通常可达1-10纳米)和更大的景深,能够清晰呈现材料表面形貌、晶体结构及微观成分分布。
该设备主要由电子光学系统(电子枪、电磁透镜)、真空系统、信号检测系统(如二次电子探测器)和图像处理系统组成。在应用层面,SEM被广泛应用于材料科学(如金属断口分析)、生物医学(细胞结构观测)、纳米技术(纳米颗粒表征)以及工业质检(半导体芯片缺陷检测)等领域。根据《显微分析技术标准手册》,现代SEM还可配备能谱仪(EDS)实现元素成分的定性与半定量分析。
权威参考资料:
扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种基于电子束与样品相互作用原理的高分辨率显微成像技术,广泛应用于材料科学、生物学、工业等领域。以下从定义、工作原理、技术特点和应用四个方面进行详细解释:
扫描电子显微镜通过聚焦的高能电子束扫描样品表面,收集样品激发的物理信号(如二次电子、背散射电子等),经处理后形成微观形貌图像。它结合了透射电子显微镜(TEM)和光学显微镜的优势,分辨率可达1纳米,放大倍数高达30万倍。
如需更详细信息,可参考相关学术文献或仪器说明文档。
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