熱燈絲遊離真空計英文解釋翻譯、熱燈絲遊離真空計的近義詞、反義詞、例句
英語翻譯:
【電】 hot-filament ionization gage
分詞翻譯:
熱的英語翻譯:
ardent; caloric; craze; eager; fever; heat; hot; warm
【化】 heat
【醫】 calor; cauma; febris; fever; fievre; heat; hyperthermia; hyperthermy
phlegmasia; phlegmonosis; pyreto-; pyro-; therm-; thermo-
燈絲的英語翻譯:
filament; glower
【電】 filament; filamentary cathode
遊離真空計的英語翻譯:
【電】 ion gage; ionization vacuum gage
專業解析
熱燈絲遊離真空計(英文:Hot Filament Ionization Vacuum Gauge)是一種用于測量高真空至超高真空環境(通常在10⁻⁵ Pa 至 10⁻¹¹ Pa 範圍)的精密儀器。其核心原理基于氣體分子在熱電子轟擊下發生電離(遊離),通過測量産生的離子電流來推算氣體壓強(真空度)。
核心定義與原理:
-
術語拆解與漢英對照:
- 熱燈絲 (Hot Filament): 指儀器中通電加熱至白熾狀态的金屬絲(通常為鎢絲或銥絲塗層)。其功能是發射熱電子。
- 遊離 (Ionization): 物理學術語,指氣體分子或原子失去或獲得電子而形成帶電離子(正離子和電子)的過程。在此儀器中,遊離由熱電子轟擊氣體分子引發。
- 真空計 (Vacuum Gauge): 用于測量低于大氣壓的氣體壓強(即真空度)的儀器。
- 英文全稱: Hot Filament Ionization Vacuum Gauge。
-
工作原理:
- 熱電子發射: 給燈絲通電加熱至高溫(約2000°C),燈絲發射出熱電子。
- 電子加速與碰撞電離: 在燈絲(陰極)和圍繞其的帶正電的栅極(陽極)之間施加電場(通常70V - 150V)。熱電子被加速飛向陽極栅極。在此過程中,高速電子與殘餘氣體分子發生碰撞。
- 遊離發生: 當高速電子的能量大于氣體分子的電離能時,氣體分子被電離,産生一個正離子和一個或多個二次電子。
- 離子收集與電流測量: 在栅極外圍設有一個帶負電的離子收集極(陰極)。正離子在電場作用下被吸引至收集極,形成離子電流(I⁺)。在恒定發射電流(Ie,即燈絲發射的電子流)下,離子電流(I⁺)與氣體壓強(P)成正比,關系式為:
$$
I^+ = K cdot I_e cdot P
$$
其中,K 是該真空計對特定氣體的靈敏度常數(單位通常為 Pa⁻¹ 或 Torr⁻¹)。
- 壓強計算: 通過精确測量離子電流(I⁺)和已知的發射電流(Ie)及靈敏度(K),即可計算出待測的真空壓強(P)。
關鍵特性與應用:
- 測量範圍: 主要覆蓋高真空(HV,10⁻¹ Pa 至 10⁻⁵ Pa)和超高真空(UHV,<10⁻⁵ Pa)區域。
- 氣體依賴性: 靈敏度(K)依賴于被測氣體的種類。通常以氮氣(N₂)或幹燥空氣的靈敏度作為标準進行标定。測量不同氣體時需進行修正。
- 優點: 結構相對簡單(相比冷陰極型),測量範圍寬(尤其擅長UHV),線性度較好(在適用範圍内),響應速度快。
- 缺點: 燈絲在較高壓強(>10⁻¹ Pa)下易氧化燒毀,存在化學清除效應(燈絲和電極吸附氣體影響測量),存在電子誘導解吸效應(EID),對某些氣體(如氧氣)敏感度較高導緻燈絲壽命縮短。
- 典型應用: 廣泛應用于半導體制造、表面科學、粒子加速器、空間模拟、薄膜沉積、真空冶金等需要精确測量高真空和超高真空的領域。
權威參考來源:
- 真空技術經典著作與标準:
- 《真空技術》(王欲知,陳旭編著) - 詳細闡述各類真空計原理,包括熱陰極電離規(熱燈絲遊離真空計)。
- 《真空設計手冊》(達道安主編) - 提供真空計的設計原理和應用指南。
- 國家标準 GB/T 3163-2007《真空技術術語》 - 提供“電離真空計”、“熱陰極電離真空計”等術語的權威定義。
- 國際标準 ISO 3529:2021 Vacuum technology — Vocabulary - 提供國際通用的真空術語定義。
- 儀器制造商技術文檔: 如 INFICON、Pfeiffer Vacuum、Agilent (Keysight) 等公司官網的産品手冊和技術白皮書會提供具體型號的原理、參數和使用說明。
- 專業期刊與百科:
- 《真空科學與技術學報》(Journal of Vacuum Science and Technology)
- 維基百科相關詞條 (需甄别): 如 “Ionization gauge”, “Hot-cathode gauge” (英文版通常更詳細準确)。
網絡擴展解釋
熱燈絲遊離真空計(通常稱為熱陰極電離真空計)是一種基于氣體電離原理測量真空度的儀器,屬于帶電粒子效應類真空計。以下是其核心原理和特點的詳細解釋:
工作原理
- 電子發射
高溫加熱的金屬燈絲(通常為鎢絲)會發射高能電子流。
- 氣體電離
電子在電場加速下與氣體分子碰撞,使分子失去電子形成正離子(即“遊離”過程)。
- 離子收集與測量
正離子被帶負電的收集極捕獲,形成離子電流。離子流大小與氣體壓力成正比,通過放大電路可轉換為氣壓讀數。
關鍵特性
- 測量範圍:通常適用于高真空至超高真空(如$10^{-1}$~$10^{-6}$ Pa),需配合其他真空計覆蓋更寬範圍。
- 靈敏度:對氣體種類敏感,不同氣體電離效率不同,需校準。
- 結構組成:包含燈絲(陰極)、加速栅極、離子收集極等部件。
應用場景
- 科研實驗室(如表面分析、粒子加速器)。
- 半導體制造中的鍍膜、刻蝕工藝。
- 需注意:燈絲在高壓強下易氧化損壞,需在真空度較高時啟用。
與其他電離規的區别
- 熱陰極 vs 冷陰極:熱陰極依賴加熱發射電子,冷陰極通過強電場引發放電電離(如潘甯規),後者更耐用但靈敏度較低。
如需更詳細的技術參數或校準方法,可參考真空設備制造商的技術手冊。
分類
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