热灯丝游离真空计英文解释翻译、热灯丝游离真空计的近义词、反义词、例句
英语翻译:
【电】 hot-filament ionization gage
分词翻译:
热的英语翻译:
ardent; caloric; craze; eager; fever; heat; hot; warm
【化】 heat
【医】 calor; cauma; febris; fever; fievre; heat; hyperthermia; hyperthermy
phlegmasia; phlegmonosis; pyreto-; pyro-; therm-; thermo-
灯丝的英语翻译:
filament; glower
【电】 filament; filamentary cathode
游离真空计的英语翻译:
【电】 ion gage; ionization vacuum gage
专业解析
热灯丝游离真空计(英文:Hot Filament Ionization Vacuum Gauge)是一种用于测量高真空至超高真空环境(通常在10⁻⁵ Pa 至 10⁻¹¹ Pa 范围)的精密仪器。其核心原理基于气体分子在热电子轰击下发生电离(游离),通过测量产生的离子电流来推算气体压强(真空度)。
核心定义与原理:
-
术语拆解与汉英对照:
- 热灯丝 (Hot Filament): 指仪器中通电加热至白炽状态的金属丝(通常为钨丝或铱丝涂层)。其功能是发射热电子。
- 游离 (Ionization): 物理学术语,指气体分子或原子失去或获得电子而形成带电离子(正离子和电子)的过程。在此仪器中,游离由热电子轰击气体分子引发。
- 真空计 (Vacuum Gauge): 用于测量低于大气压的气体压强(即真空度)的仪器。
- 英文全称: Hot Filament Ionization Vacuum Gauge。
-
工作原理:
- 热电子发射: 给灯丝通电加热至高温(约2000°C),灯丝发射出热电子。
- 电子加速与碰撞电离: 在灯丝(阴极)和围绕其的带正电的栅极(阳极)之间施加电场(通常70V - 150V)。热电子被加速飞向阳极栅极。在此过程中,高速电子与残余气体分子发生碰撞。
- 游离发生: 当高速电子的能量大于气体分子的电离能时,气体分子被电离,产生一个正离子和一个或多个二次电子。
- 离子收集与电流测量: 在栅极外围设有一个带负电的离子收集极(阴极)。正离子在电场作用下被吸引至收集极,形成离子电流(I⁺)。在恒定发射电流(Ie,即灯丝发射的电子流)下,离子电流(I⁺)与气体压强(P)成正比,关系式为:
$$
I^+ = K cdot I_e cdot P
$$
其中,K 是该真空计对特定气体的灵敏度常数(单位通常为 Pa⁻¹ 或 Torr⁻¹)。
- 压强计算: 通过精确测量离子电流(I⁺)和已知的发射电流(Ie)及灵敏度(K),即可计算出待测的真空压强(P)。
关键特性与应用:
- 测量范围: 主要覆盖高真空(HV,10⁻¹ Pa 至 10⁻⁵ Pa)和超高真空(UHV,<10⁻⁵ Pa)区域。
- 气体依赖性: 灵敏度(K)依赖于被测气体的种类。通常以氮气(N₂)或干燥空气的灵敏度作为标准进行标定。测量不同气体时需进行修正。
- 优点: 结构相对简单(相比冷阴极型),测量范围宽(尤其擅长UHV),线性度较好(在适用范围内),响应速度快。
- 缺点: 灯丝在较高压强(>10⁻¹ Pa)下易氧化烧毁,存在化学清除效应(灯丝和电极吸附气体影响测量),存在电子诱导解吸效应(EID),对某些气体(如氧气)敏感度较高导致灯丝寿命缩短。
- 典型应用: 广泛应用于半导体制造、表面科学、粒子加速器、空间模拟、薄膜沉积、真空冶金等需要精确测量高真空和超高真空的领域。
权威参考来源:
- 真空技术经典著作与标准:
- 《真空技术》(王欲知,陈旭编著) - 详细阐述各类真空计原理,包括热阴极电离规(热灯丝游离真空计)。
- 《真空设计手册》(达道安主编) - 提供真空计的设计原理和应用指南。
- 国家标准 GB/T 3163-2007《真空技术术语》 - 提供“电离真空计”、“热阴极电离真空计”等术语的权威定义。
- 国际标准 ISO 3529:2021 Vacuum technology — Vocabulary - 提供国际通用的真空术语定义。
- 仪器制造商技术文档: 如 INFICON、Pfeiffer Vacuum、Agilent (Keysight) 等公司官网的产品手册和技术白皮书会提供具体型号的原理、参数和使用说明。
- 专业期刊与百科:
- 《真空科学与技术学报》(Journal of Vacuum Science and Technology)
- 维基百科相关词条 (需甄别): 如 “Ionization gauge”, “Hot-cathode gauge” (英文版通常更详细准确)。
网络扩展解释
热灯丝游离真空计(通常称为热阴极电离真空计)是一种基于气体电离原理测量真空度的仪器,属于带电粒子效应类真空计。以下是其核心原理和特点的详细解释:
工作原理
- 电子发射
高温加热的金属灯丝(通常为钨丝)会发射高能电子流。
- 气体电离
电子在电场加速下与气体分子碰撞,使分子失去电子形成正离子(即“游离”过程)。
- 离子收集与测量
正离子被带负电的收集极捕获,形成离子电流。离子流大小与气体压力成正比,通过放大电路可转换为气压读数。
关键特性
- 测量范围:通常适用于高真空至超高真空(如$10^{-1}$~$10^{-6}$ Pa),需配合其他真空计覆盖更宽范围。
- 灵敏度:对气体种类敏感,不同气体电离效率不同,需校准。
- 结构组成:包含灯丝(阴极)、加速栅极、离子收集极等部件。
应用场景
- 科研实验室(如表面分析、粒子加速器)。
- 半导体制造中的镀膜、刻蚀工艺。
- 需注意:灯丝在高压强下易氧化损坏,需在真空度较高时启用。
与其他电离规的区别
- 热阴极 vs 冷阴极:热阴极依赖加热发射电子,冷阴极通过强电场引发放电电离(如潘宁规),后者更耐用但灵敏度较低。
如需更详细的技术参数或校准方法,可参考真空设备制造商的技术手册。
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