
【化】 backing vacuum; forevacuum
former; forward; front; preceding; priority
【醫】 a.; ante-; antero-; fore-; pro-; proso-; ventri-; ventro-
class; grade; level; o-level; rank; stage; step
【醫】 grade
vacuum; void
【化】 vacuum
【醫】 vacuum
"前級真空"是真空技術領域的重要概念,其英文對應術語為"fore vacuum"或"backing vacuum",指在多級真空系統中作為次級真空泵工作基礎的初級真空狀态。根據中國機械工程學會制定的《真空科學與技術術語》,該術語特指真空泵組中初級泵所維持的預備真空環境,其壓強範圍通常在10⁻¹至10² Pa之間。
在真空系統構成中,前級真空系統包含三個核心組件:
技術參數方面,國家标準GB/T 3163-2007《真空技術 術語》明确規定前級真空需滿足:
該技術廣泛應用于半導體鍍膜設備(如PECVD系統)、航天器地面模拟艙、以及同步輻射光源等高端制造領域。根據《真空科學與技術學報》最新研究數據,現代分子泵組的前級真空度直接影響系統最終極限真空,壓強每降低一個數量級可使高真空泵效率提升約18%。
"前級真空"是真空技術領域的專業術語,其含義和特點可歸納如下:
一、定義與作用
指在真空系統中為高真空泵(如渦輪分子泵)提供預備真空環境的技術環節。它通過前級真空泵将氣體壓力從大氣壓降低至適合主泵啟動的中間壓力範圍(通常為10⁻³至10⁻² mbar量級),從而保障主泵高效運行。
二、技術特點
三、英文對應詞
在化工領域譯為"backing vacuum"或"forevacuum"(),強調其作為主泵預備階段的支撐功能。
應用場景:常見于半導體制造、真空鍍膜等需要高純度真空環境的工業領域,以及科研實驗中的超高真空系統。
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