
【化】 backing vacuum; forevacuum
former; forward; front; preceding; priority
【医】 a.; ante-; antero-; fore-; pro-; proso-; ventri-; ventro-
class; grade; level; o-level; rank; stage; step
【医】 grade
vacuum; void
【化】 vacuum
【医】 vacuum
"前级真空"是真空技术领域的重要概念,其英文对应术语为"fore vacuum"或"backing vacuum",指在多级真空系统中作为次级真空泵工作基础的初级真空状态。根据中国机械工程学会制定的《真空科学与技术术语》,该术语特指真空泵组中初级泵所维持的预备真空环境,其压强范围通常在10⁻¹至10² Pa之间。
在真空系统构成中,前级真空系统包含三个核心组件:
技术参数方面,国家标准GB/T 3163-2007《真空技术 术语》明确规定前级真空需满足:
该技术广泛应用于半导体镀膜设备(如PECVD系统)、航天器地面模拟舱、以及同步辐射光源等高端制造领域。根据《真空科学与技术学报》最新研究数据,现代分子泵组的前级真空度直接影响系统最终极限真空,压强每降低一个数量级可使高真空泵效率提升约18%。
"前级真空"是真空技术领域的专业术语,其含义和特点可归纳如下:
一、定义与作用
指在真空系统中为高真空泵(如涡轮分子泵)提供预备真空环境的技术环节。它通过前级真空泵将气体压力从大气压降低至适合主泵启动的中间压力范围(通常为10⁻³至10⁻² mbar量级),从而保障主泵高效运行。
二、技术特点
三、英文对应词
在化工领域译为"backing vacuum"或"forevacuum"(),强调其作为主泵预备阶段的支撑功能。
应用场景:常见于半导体制造、真空镀膜等需要高纯度真空环境的工业领域,以及科研实验中的超高真空系统。
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