forepumping是什麼意思，forepumping的意思翻譯、用法、同義詞、例句

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forepumping（前級抽氣/預抽真空）是真空技術中的一個核心術語，指在啟動高真空泵（如擴散泵、渦輪分子泵或低溫泵）之前，使用機械泵（如旋片泵或螺杆泵）将真空腔室或系統從大氣壓初步抽至較低真空度的過程。這一步驟至關重要，因為高真空泵通常無法直接從大氣壓開始工作，需要前級泵創造合適的低壓環境（通常在10⁻¹至10⁻² Pa量級）才能有效運行。

核心原理與技術要點：

1. 壓力過渡作用：前級抽氣搭建了從大氣壓到高真空的“橋梁”。高真空泵的工作氣體分子密度需足夠低，以避免氣體粘滞流或泵體過載。例如，渦輪分子泵的轉子高速旋轉時，若氣壓過高會導緻葉片阻力劇增甚至損壞。
2. 維持泵運行條件：擴散泵需要前級泵持續維持其出口背壓（通常<10 Pa），否則泵油會氧化失效。前級泵在此階段承擔維持背壓的任務，确保高真空泵穩定工作。
3. 系統污染控制：預抽階段可排出腔室内大部分氣體（如水蒸氣、氮氧），減少殘留氣體對高真空環境的污染。在半導體工藝中，前級抽氣能顯著降低水汽分壓，避免晶圓氧化。

典型應用場景：

• 科研實驗：粒子加速器、核聚變裝置需維持超高真空（<10⁻⁷ Pa），前級抽氣是啟動低溫泵的必要前置步驟。
• 工業制造：在集成電路鍍膜工藝中，預抽真空可縮短工藝周期30%以上（來源：《真空科學與技術學報》）。
• 空間模拟：航天器熱真空試驗艙需通過前級泵快速抽除氣體，模拟太空環境。

權威定義參考：

根據國際真空科學與技術協會（International Union for Vacuum Science, Technique and Applications, IUVSTA）的标準術語指南，forepumping被定義為“使用前級泵實現初始壓力降低的操作，為高真空泵創造啟動條件”（來源：IUVSTA官網術語庫）。美國真空協會（AVS）在《真空技術基礎》教材中進一步強調其作為“多級真空系統的基礎環節”的工程意義（來源：AVS Education Resources）。

網絡擴展資料

"forepumping" 是動詞forepump 的動名詞或現在分詞形式，其核心含義與真空系統操作相關。以下是詳細解釋：

詞義解析

1. 基本定義
   "forepump" 指一種前置真空泵（或預抽真空泵），用于在主要真空泵運行前預先降低系統壓力，為主泵創造合適的工作環境。

   • 中文直譯：前級泵、預抽泵、預備真空泵。

2. 功能場景
   常見于工業或實驗室真空系統，例如：

   • 在電子顯微鏡中預抽真空；
   • 為高真空泵（如渦輪分子泵）提供初步低壓環境。

3. 構詞與關聯詞

   • 詞根拆分：fore-（前置） + pump（泵），強調“預先抽吸”的動作。
   • 相關動詞：pumping（抽吸、泵送）是基礎動作，而 forepumping 特指前置泵的抽吸過程。

使用建議

• 技術文獻：在真空工程或物理設備說明中，常用 forepump 描述前級泵裝置。
• 動詞形式：forepumping 多用于描述持續或進行中的預抽過程，例如：
  "The system requires forepumping before activating the main vacuum chamber."

如需進一步了解動詞變位或例句，可參考歐路詞典等專業工具。

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