forepumping是什么意思，forepumping的意思翻译、用法、同义词、例句

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专业解析

forepumping（前级抽气/预抽真空）是真空技术中的一个核心术语，指在启动高真空泵（如扩散泵、涡轮分子泵或低温泵）之前，使用机械泵（如旋片泵或螺杆泵）将真空腔室或系统从大气压初步抽至较低真空度的过程。这一步骤至关重要，因为高真空泵通常无法直接从大气压开始工作，需要前级泵创造合适的低压环境（通常在10⁻¹至10⁻² Pa量级）才能有效运行。

核心原理与技术要点：

1. 压力过渡作用：前级抽气搭建了从大气压到高真空的“桥梁”。高真空泵的工作气体分子密度需足够低，以避免气体粘滞流或泵体过载。例如，涡轮分子泵的转子高速旋转时，若气压过高会导致叶片阻力剧增甚至损坏。
2. 维持泵运行条件：扩散泵需要前级泵持续维持其出口背压（通常<10 Pa），否则泵油会氧化失效。前级泵在此阶段承担维持背压的任务，确保高真空泵稳定工作。
3. 系统污染控制：预抽阶段可排出腔室内大部分气体（如水蒸气、氮氧），减少残留气体对高真空环境的污染。在半导体工艺中，前级抽气能显著降低水汽分压，避免晶圆氧化。

典型应用场景：

• 科研实验：粒子加速器、核聚变装置需维持超高真空（<10⁻⁷ Pa），前级抽气是启动低温泵的必要前置步骤。
• 工业制造：在集成电路镀膜工艺中，预抽真空可缩短工艺周期30%以上（来源：《真空科学与技术学报》）。
• 空间模拟：航天器热真空试验舱需通过前级泵快速抽除气体，模拟太空环境。

权威定义参考：

根据国际真空科学与技术协会（International Union for Vacuum Science, Technique and Applications, IUVSTA）的标准术语指南，forepumping被定义为“使用前级泵实现初始压力降低的操作，为高真空泵创造启动条件”（来源：IUVSTA官网术语库）。美国真空协会（AVS）在《真空技术基础》教材中进一步强调其作为“多级真空系统的基础环节”的工程意义（来源：AVS Education Resources）。

网络扩展资料

"forepumping" 是动词forepump 的动名词或现在分词形式，其核心含义与真空系统操作相关。以下是详细解释：

词义解析

1. 基本定义
   "forepump" 指一种前置真空泵（或预抽真空泵），用于在主要真空泵运行前预先降低系统压力，为主泵创造合适的工作环境。

   • 中文直译：前级泵、预抽泵、预备真空泵。

2. 功能场景
   常见于工业或实验室真空系统，例如：

   • 在电子显微镜中预抽真空；
   • 为高真空泵（如涡轮分子泵）提供初步低压环境。

3. 构词与关联词

   • 词根拆分：fore-（前置） + pump（泵），强调“预先抽吸”的动作。
   • 相关动词：pumping（抽吸、泵送）是基础动作，而 forepumping 特指前置泵的抽吸过程。

使用建议

• 技术文献：在真空工程或物理设备说明中，常用 forepump 描述前级泵装置。
• 动词形式：forepumping 多用于描述持续或进行中的预抽过程，例如：
  "The system requires forepumping before activating the main vacuum chamber."

如需进一步了解动词变位或例句，可参考欧路词典等专业工具。

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