
【计】 substrate type
underlay
【计】 MOS substrate; substrate
genre; run; stamp; style; type
【计】 type
【医】 Ty.; type
【经】 type
在电子工程与材料科学领域,"衬底类型"(英文:Substrate Type)指制造半导体器件或集成电路时所用基底材料的种类。衬底作为器件结构的物理支撑与电气性能基础,其类型直接影响器件性能与工艺兼容性。以下是主要衬底类型及其特性:
最广泛使用的衬底材料,占半导体市场90%以上。单晶硅(Single-Crystal Si)因其优异的电学特性、成熟的加工工艺和低成本成为主流选择。根据掺杂类型分为P型(掺硼)和N型(掺磷),电阻率范围通常为0.001–100 Ω·cm 。
应用场景:逻辑芯片、存储器、太阳能电池等。
高频特性优异(电子迁移率是硅的6倍),适用于射频器件、光电器件。但成本高且机械脆性大 。
宽带隙(3.4 eV)材料,耐高压高温,用于5G基站、快充器件。常以异质外延方式生长在蓝宝石或硅衬底上 。
导热率高(4.9 W/cm·K),适用于大功率器件如电动汽车逆变器。4H-SiC晶型为主流商用类型 。
在硅衬底上嵌入二氧化硅绝缘层(如BOX层),可减少寄生电容,提升器件速度与抗辐照能力。薄膜SOI(厚度<50 nm)用于低功耗处理器 。
化学式为α-Al₂O₃,绝缘性好且耐高温,主要用于LED外延生长(如GaN基LED)。其晶格失配度约16%,需通过缓冲层优化外延质量 。
权威参考来源:
- 《半导体材料手册》(Handbook of Semiconductor Materials), Springer出版
- 国际半导体技术路线图(ITRS)报告
- 《化合物半导体器件物理》(Physics of Compound Semiconductor Devices), Wiley出版社
- 美国材料信息学会(ASM International)技术文献库
衬底是材料科学和工程领域的重要概念,通常指作为支撑或基础层的材料,用于在其表面生长功能材料。根据应用领域的不同,衬底主要分为以下两种类型:
绘图衬底
主要用于印刷或设计领域,指将图片或文字作为底纹铺满整个版面。
化工学衬底
常见于半导体、光电子等领域,作为功能材料的基底。这类衬底需满足结构匹配、热膨胀系数适配等要求。
半导体材料衬底
氧化物材料衬底
碳化物材料衬底
复合结构衬底
如需更完整的材料列表或技术细节,可参考化工学文献或半导体行业报告。
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