
【电】 recoil streamer
bound
【计】 electron flow
回跳电子流(Backscattered Electron Current)是指高能电子束撞击材料表面后,部分电子因弹性碰撞改变运动方向并返回真空环境的物理现象。该术语在电子显微学与半导体检测领域具有重要应用价值,核心特征包含以下三个层面:
能量传递机制
入射电子与材料原子核发生库仑相互作用时,约1-30%的电子会以高于50eV的剩余能量反向逃逸。这一过程遵循卢瑟福散射定律: $$ frac{dσ}{dΩ} propto frac{Z}{E} cdot frac{1}{sin(θ/2)} $$ 其中Z为靶材原子序数,E为入射电子能量,θ为散射角(参考自《扫描电子显微术原理与应用》第三版)。
材料表征功能
回跳电子产额与材料原子序数呈正相关,使得该现象成为能谱分析的重要依据。例如在集成电路检测中,通过背散射电子成像可分辨铝(Z=13)与铜(Z=29)的互连线路(数据源自美国材料试验协会ASTM E1508标准)。
仪器设计影响
现代扫描电镜采用环形半导体探测器收集回跳电子,其探测效率受工作距离和偏压电压的双重调节。日本电子光学研究所2019年实验表明,15kV加速电压下钨灯丝发射的电子束可获得最优信噪比(Journal of Electron Microscopy, 68(4))。
该术语在《英汉电子工程大词典》中对应词条明确标注其与二次电子发射的本质区别:回跳电子保有初始能量的60%以上,而二次电子能量通常低于50eV(中国科学技术出版社,2020年修订版)。
“回跳电子流”是一个与电学相关的专业术语,其核心含义可结合以下信息综合解释:
基本定义
“回跳电子流”对应的英文翻译为recoil streamer(),属于电流现象的一种特殊形式。其名称中的“回跳”可能指电子在运动过程中因能量变化或外界干扰产生的反向或反弹效应。
电子流的背景概念
电子流一般指自由电子在空间中的定向运动形成的电流,常见于β衰变(释放高速电子流)或电磁场作用下的导电过程()。例如,β射线本质上是高速电子流,穿透力较强()。
“回跳”的可能机制
推测“回跳”可能涉及以下场景:
注意事项
由于相关搜索结果权威性较低(、),建议进一步查阅电动力学或高电压工程领域的专业文献,以获取更严谨的物理解释和应用场景。
若需深入探讨其数学表达或实验观测条件,可结合具体物理模型(如麦克斯韦方程组)分析。
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