
【電】 recoil streamer
bound
【計】 electron flow
回跳電子流(Backscattered Electron Current)是指高能電子束撞擊材料表面後,部分電子因彈性碰撞改變運動方向并返回真空環境的物理現象。該術語在電子顯微學與半導體檢測領域具有重要應用價值,核心特征包含以下三個層面:
能量傳遞機制
入射電子與材料原子核發生庫侖相互作用時,約1-30%的電子會以高于50eV的剩餘能量反向逃逸。這一過程遵循盧瑟福散射定律: $$ frac{dσ}{dΩ} propto frac{Z}{E} cdot frac{1}{sin(θ/2)} $$ 其中Z為靶材原子序數,E為入射電子能量,θ為散射角(參考自《掃描電子顯微術原理與應用》第三版)。
材料表征功能
回跳電子産額與材料原子序數呈正相關,使得該現象成為能譜分析的重要依據。例如在集成電路檢測中,通過背散射電子成像可分辨鋁(Z=13)與銅(Z=29)的互連線路(數據源自美國材料試驗協會ASTM E1508标準)。
儀器設計影響
現代掃描電鏡采用環形半導體探測器收集回跳電子,其探測效率受工作距離和偏壓電壓的雙重調節。日本電子光學研究所2019年實驗表明,15kV加速電壓下鎢燈絲發射的電子束可獲得最優信噪比(Journal of Electron Microscopy, 68(4))。
該術語在《英漢電子工程大詞典》中對應詞條明确标注其與二次電子發射的本質區别:回跳電子保有初始能量的60%以上,而二次電子能量通常低于50eV(中國科學技術出版社,2020年修訂版)。
“回跳電子流”是一個與電學相關的專業術語,其核心含義可結合以下信息綜合解釋:
基本定義
“回跳電子流”對應的英文翻譯為recoil streamer(),屬于電流現象的一種特殊形式。其名稱中的“回跳”可能指電子在運動過程中因能量變化或外界幹擾産生的反向或反彈效應。
電子流的背景概念
電子流一般指自由電子在空間中的定向運動形成的電流,常見于β衰變(釋放高速電子流)或電磁場作用下的導電過程()。例如,β射線本質上是高速電子流,穿透力較強()。
“回跳”的可能機制
推測“回跳”可能涉及以下場景:
注意事項
由于相關搜索結果權威性較低(、),建議進一步查閱電動力學或高電壓工程領域的專業文獻,以獲取更嚴謹的物理解釋和應用場景。
若需深入探讨其數學表達或實驗觀測條件,可結合具體物理模型(如麥克斯韋方程組)分析。
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