金属氧化物半导体试剂英文解释翻译、金属氧化物半导体试剂的近义词、反义词、例句
英语翻译:
【化】 metal-oxide-semiconductor reagent
分词翻译:
金属氧化物半导体的英语翻译:
【计】 MOS
试剂的英语翻译:
reagent
【化】 reagent
【医】 agentia; reagent
专业解析
金属氧化物半导体试剂(Metal Oxide Semiconductor Reagent)指用于制造或处理金属氧化物半导体(MOS)材料的化学物质或制剂。这类试剂在半导体工艺中扮演关键角色,其核心特征如下:
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成分与功能
试剂通常包含高纯度的金属氧化物(如氧化硅SiO₂、氧化铪HfO₂、氧化铝Al₂O₃)或其前驱体化合物。它们通过沉积、蚀刻或掺杂等工艺,形成MOS器件的绝缘层、介电层或沟道材料,直接影响晶体管的电学性能(如阈值电压、漏电流)。
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应用场景
- 栅极介质制备:例如原子层沉积(ALD)使用的有机金属前驱体(如四乙氧基硅烷TEOS)用于生成二氧化硅绝缘层。
- 表面改性:酸性或碱性蚀刻剂(如氢氟酸HF)调控氧化物薄膜厚度与形貌。
- 传感器材料:氧化锡(SnO₂)、氧化锌(ZnO)等试剂用于制备气敏/光敏半导体元件。
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技术标准
试剂需满足半导体行业的超高纯度要求(≥99.999%),严格控制金属离子杂质(如Na⁺、K⁺)及颗粒含量,以避免器件失效。相关规范参考国际半导体技术路线(ITRS)及材料安全数据表(MSDS)。
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跨学科关联
该术语融合材料科学(金属氧化物特性)、电子工程(半导体器件设计)及化学(试剂合成与提纯),体现了微电子制造的多学科交叉性。
来源说明:
- 定义综合参考《半导体材料手册》(Springer出版)及IEEE电子器件学会术语标准。
- 工艺应用部分依据《微电子制造科学原理》(Elsevier)及应用材料公司(Applied Materials)技术白皮书。
- 纯度标准援引国际半导体产业协会(SEMI)试剂分级规范。
网络扩展解释
金属氧化物半导体试剂(Metal-Oxide-Semiconductor Reagent,简称MOS试剂)是一种用于制备或处理金属氧化物半导体材料的化学试剂。其核心含义可从以下几个方面解析:
1.定义与组成
- 定义:这类试剂主要用于合成、改性或分析金属氧化物半导体材料。金属氧化物半导体(如氧化铁、氧化锌等)是由金属元素与氧元素组成的化合物,具有半导体特性。
- 组成:通常包含金属前驱体(如金属盐类)、氧化剂或其他辅助成分,用于在特定条件下生成目标金属氧化物结构。
2.应用领域
- 材料制备:用于实验室或工业生产中合成纳米级金属氧化物半导体材料,例如氧化钛(TiO₂)、氧化锡(SnO₂)等。
- 电子器件:在制造传感器、晶体管或光电器件时,MOS试剂可作为关键原料,调控材料的电导率、能带结构等特性。
- 催化与检测:部分金属氧化物半导体是优良催化剂,相关试剂可用于催化反应或环境检测中的敏感材料制备。
3.特性与要求
- 高纯度:因半导体材料对杂质敏感,MOS试剂需满足严格的纯度标准。
- 可控性:试剂需在反应中实现金属氧化物的粒径、形貌及晶型的精准控制。
如需更全面的技术参数或具体产品信息,可参考化学试剂手册或专业文献(来源:)。
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