
【计】 acceptor density
acceptor
【化】 acceptor; acceptor centre; acceptor impurity
chroma; consistence; consistency; deepness; strength
【化】 concentration
【医】 concentration; M-concentration M; strength
受主浓度是半导体物理学中的核心参数,指单位体积半导体材料内受主杂质原子的数量。受主(Acceptor)是能够接受电子并在材料中形成空穴的掺杂元素,常见于P型半导体中,如硼(B)在硅晶体中的掺杂。
在技术标准中,受主浓度通常用符号$N_A$表示,单位为$text{cm}^{-3}$。其数值直接影响半导体的费米能级位置、载流子迁移率和导电类型。例如,当$N_A > N_D$(施主浓度)时,材料表现为P型导电特性。
该参数可通过电容-电压测试(C-V法)或二次离子质谱(SIMS)精确测量。国际半导体技术路线图(ITRS)建议,先进制程中受主浓度的控制精度需达到$pm 3%$以内。
参考文献:
受主浓度是半导体物理中的重要概念,具体解释如下:
受主浓度指半导体中掺入的受主杂质原子密度,通常用单位体积内的原子数量(如cm⁻³)表示。受主杂质为三价元素(如硼、铟、镓),其特性是接受价带电子并产生空穴,从而形成P型半导体。
受主浓度直接决定半导体的导电类型与载流子分布,是器件设计与性能优化的关键参数。需结合具体掺杂场景(如补偿掺杂、异质结结构)综合分析其影响。
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