
【計】 acceptor density
acceptor
【化】 acceptor; acceptor centre; acceptor impurity
chroma; consistence; consistency; deepness; strength
【化】 concentration
【醫】 concentration; M-concentration M; strength
受主濃度是半導體物理學中的核心參數,指單位體積半導體材料内受主雜質原子的數量。受主(Acceptor)是能夠接受電子并在材料中形成空穴的摻雜元素,常見于P型半導體中,如硼(B)在矽晶體中的摻雜。
在技術标準中,受主濃度通常用符號$N_A$表示,單位為$text{cm}^{-3}$。其數值直接影響半導體的費米能級位置、載流子遷移率和導電類型。例如,當$N_A > N_D$(施主濃度)時,材料表現為P型導電特性。
該參數可通過電容-電壓測試(C-V法)或二次離子質譜(SIMS)精确測量。國際半導體技術路線圖(ITRS)建議,先進制程中受主濃度的控制精度需達到$pm 3%$以内。
參考文獻:
受主濃度是半導體物理中的重要概念,具體解釋如下:
受主濃度指半導體中摻入的受主雜質原子密度,通常用單位體積内的原子數量(如cm⁻³)表示。受主雜質為三價元素(如硼、铟、镓),其特性是接受價帶電子并産生空穴,從而形成P型半導體。
受主濃度直接決定半導體的導電類型與載流子分布,是器件設計與性能優化的關鍵參數。需結合具體摻雜場景(如補償摻雜、異質結結構)綜合分析其影響。
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