
【電】 high-vacuum pump
high; high-priced; lofty; loud; tall
【醫】 homo-; hyper-; hypsi-; hypso-; per-
【化】 vacuum air pump
高真空抽氣機(High Vacuum Pump)是一種用于産生并維持壓力低于10⁻³ Pa真空環境的設備,其核心功能是通過物理或化學方式移除密閉系統中的氣體分子。該設備在半導體制造、粒子物理實驗和空間模拟艙等尖端領域具有不可替代的作用。
技術定義與工作原理
依據《真空科學與技術手冊》,高真空系統需滿足兩個條件:極限真空度≤1×10⁻⁴ Pa,抽氣速率≥100 L/s。主流技術類型包括:
關鍵性能參數
典型應用場景
行業權威參考
注:本文技術數據源自真空工程領域核心文獻,具體參數可能因設備型號及工作條件産生差異。建議實際應用前咨詢設備制造商獲取精确技術規格。
高真空抽氣機是一種用于産生并維持高真空環境的設備,其核心功能是将密閉容器内的氣體抽至極低壓力狀态。以下是詳細解釋:
高真空通常指壓力範圍在$1 times 10^{-3}$至$1 times 10^{-6}$毫米汞柱(約$1.33 times 10^{-1}$至$1.33 times 10^{-4}$帕斯卡)的真空狀态。高真空抽氣機即為此類環境中使用的抽氣設備,需具備高極限真空度和穩定抽速。
根據真空泵類型,高真空抽氣機可能采用以下結構:
普通抽真空僅指降低壓力的過程,而高真空抽氣機需達到特定低壓阈值(如$<10^{-3}$帕斯卡),且對設備密封性、材料放氣率要求更高。
如需更完整信息,可參考(超高真空機組設計)和(真空泵定義與分類)。
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