
【电】 high-vacuum pump
high; high-priced; lofty; loud; tall
【医】 homo-; hyper-; hypsi-; hypso-; per-
【化】 vacuum air pump
高真空抽气机(High Vacuum Pump)是一种用于产生并维持压力低于10⁻³ Pa真空环境的设备,其核心功能是通过物理或化学方式移除密闭系统中的气体分子。该设备在半导体制造、粒子物理实验和空间模拟舱等尖端领域具有不可替代的作用。
技术定义与工作原理
依据《真空科学与技术手册》,高真空系统需满足两个条件:极限真空度≤1×10⁻⁴ Pa,抽气速率≥100 L/s。主流技术类型包括:
关键性能参数
典型应用场景
行业权威参考
注:本文技术数据源自真空工程领域核心文献,具体参数可能因设备型号及工作条件产生差异。建议实际应用前咨询设备制造商获取精确技术规格。
高真空抽气机是一种用于产生并维持高真空环境的设备,其核心功能是将密闭容器内的气体抽至极低压力状态。以下是详细解释:
高真空通常指压力范围在$1 times 10^{-3}$至$1 times 10^{-6}$毫米汞柱(约$1.33 times 10^{-1}$至$1.33 times 10^{-4}$帕斯卡)的真空状态。高真空抽气机即为此类环境中使用的抽气设备,需具备高极限真空度和稳定抽速。
根据真空泵类型,高真空抽气机可能采用以下结构:
普通抽真空仅指降低压力的过程,而高真空抽气机需达到特定低压阈值(如$<10^{-3}$帕斯卡),且对设备密封性、材料放气率要求更高。
如需更完整信息,可参考(超高真空机组设计)和(真空泵定义与分类)。
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