
【電】 interstitial impurity
在半導體物理學和材料科學領域,"格隙雜質"(Interstitial Impurity)指嵌入晶體原子間隙位置的雜質原子,與占據晶格原子位置的"替代式雜質"(Substitutional Impurity)形成對比。以下是其詳細解釋:
術語構成
作用機理
格隙雜質原子通過占據晶格間隙,導緻局部晶格畸變(Lattice Distortion),影響材料的電學、力學性質。例如:
特征 | 格隙雜質 | 替代式雜質 |
---|---|---|
占據位置 | 原子間隙 | 取代晶格原子位置 |
原子尺寸要求 | 通常原子半徑較小(如 C、H、O) | 原子半徑接近基質原子(如 P、As) |
對晶格影響 | 引起顯著晶格畸變 | 畸變較小 |
典型案例 | 碳在鐵中(Fe-C合金) | 磷在矽中(n型摻雜) |
電學性質
機械性質
擴散行為
間隙雜質擴散能壘較低,擴散速率通常高于替代式雜質(擴散系數公式):
$$ D = D_0 expleft(-frac{E_a}{kT}right) $$
其中 $E_a$(激活能)較小 。
半導體工藝控制
矽晶圓制造需嚴格控制間隙金屬雜質(如 Fe、Cu),因其會形成複合中心,降低器件壽命 。
表征技術
定義間隙雜質對載流子濃度的影響機制 。
規範雜質分類标準(鍊接)。
金屬中間隙原子的擴散模型研究 。
半導體中雜質控制的工業标準(鍊接)。
(注:部分文獻鍊接因平台限制未展示,可檢索标題獲取原文)
根據搜索信息,“格隙雜質”可能為“間隙雜質”的誤寫或組合詞。以下分兩部分解釋:
一、間隙(格隙) 指物質内部存在的微小空間或結構間隔。在材料科學中,間隙特指晶體結構中未被原子占據的空位,例如金屬晶格中的原子間隙位置。這種空隙可能被其他元素占據形成間隙雜質。
二、雜質 指物質中夾雜的非主體成分,形态包括固體顆粒、氣體或液體,常見分類如下:
三、間隙雜質的作用 通過占據晶格間隙改變材料特性,例如:
注:若需更專業的材料學分析,建議查閱《稀有金屬》等期刊文獻。
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