
【电】 interstitial impurity
在半导体物理学和材料科学领域,"格隙杂质"(Interstitial Impurity)指嵌入晶体原子间隙位置的杂质原子,与占据晶格原子位置的"替代式杂质"(Substitutional Impurity)形成对比。以下是其详细解释:
术语构成
作用机理
格隙杂质原子通过占据晶格间隙,导致局部晶格畸变(Lattice Distortion),影响材料的电学、力学性质。例如:
特征 | 格隙杂质 | 替代式杂质 |
---|---|---|
占据位置 | 原子间隙 | 取代晶格原子位置 |
原子尺寸要求 | 通常原子半径较小(如 C、H、O) | 原子半径接近基质原子(如 P、As) |
对晶格影响 | 引起显著晶格畸变 | 畸变较小 |
典型案例 | 碳在铁中(Fe-C合金) | 磷在硅中(n型掺杂) |
电学性质
机械性质
扩散行为
间隙杂质扩散能垒较低,扩散速率通常高于替代式杂质(扩散系数公式):
$$ D = D_0 expleft(-frac{E_a}{kT}right) $$
其中 $E_a$(激活能)较小 。
半导体工艺控制
硅晶圆制造需严格控制间隙金属杂质(如 Fe、Cu),因其会形成复合中心,降低器件寿命 。
表征技术
定义间隙杂质对载流子浓度的影响机制 。
规范杂质分类标准(链接)。
金属中间隙原子的扩散模型研究 。
半导体中杂质控制的工业标准(链接)。
(注:部分文献链接因平台限制未展示,可检索标题获取原文)
根据搜索信息,“格隙杂质”可能为“间隙杂质”的误写或组合词。以下分两部分解释:
一、间隙(格隙) 指物质内部存在的微小空间或结构间隔。在材料科学中,间隙特指晶体结构中未被原子占据的空位,例如金属晶格中的原子间隙位置。这种空隙可能被其他元素占据形成间隙杂质。
二、杂质 指物质中夹杂的非主体成分,形态包括固体颗粒、气体或液体,常见分类如下:
三、间隙杂质的作用 通过占据晶格间隙改变材料特性,例如:
注:若需更专业的材料学分析,建议查阅《稀有金属》等期刊文献。
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