
【電】 thin-film microelectronics
film; membrane; pellicle
【計】 thin membrane; thin-film
【醫】 film
【電】 microelectronics
薄膜微電子(Thin-Film Microelectronics)是微電子技術的重要分支,指利用真空沉積、濺射、化學氣相沉積(CVD)等工藝在絕緣基闆(如玻璃、陶瓷或矽片)表面生長厚度在納米至微米量級的薄膜材料,并基于這些薄膜制造電子器件及集成電路的技術領域。其核心在于通過精密控制薄膜的物理化學特性實現電子功能。
薄膜特性
薄膜區别于體材料,其厚度通常在幾納米到幾微米之間(據國家标準 GB/T 11400-2008),表面效應和界面特性主導器件性能。材料涵蓋導體(如鋁、銅)、半導體(多晶矽、氧化物半導體)、絕緣體(SiO₂、Si₃N₄)等,通過堆疊不同功能層構建複雜結構。
微電子集成
利用薄膜工藝在基闆上集成晶體管、電阻、電容及互連線,形成具有放大、開關、存儲等功能的微型電路。典型應用包括平闆顯示驅動芯片(據 IEEE Electron Device Letters)、MEMS 傳感器(如壓力傳感器薄膜應變計)和柔性電子電路(參考 Advanced Materials 期刊)。
(注:引用來源均為該領域權威出版物或标準,具體文獻鍊接需通過學術數據庫獲取)
“薄膜微電子”是電子技術領域的一個專業術語,結合了“薄膜”和“微電子”兩個核心概念。以下是詳細解釋:
薄膜
指通過特殊工藝(如沉積、塗覆等)形成的超薄材料層,厚度通常在微米或納米級别。這類材料具有特殊電學、光學或機械性能,可用于導電、絕緣或傳感功能。例如,集成電路中的絕緣層或導電層常采用薄膜技術制作。
微電子
指在微觀尺度(微米至納米級别)設計、制造電子器件和集成電路的技術領域,涉及半導體物理、芯片設計等專業内容。例如,CPU芯片中的晶體管即屬于微電子器件。
薄膜微電子指利用薄膜材料與工藝,在微觀尺度上制造電子器件或集成電路的技術。其核心是通過控制薄膜的物理化學性質實現器件功能,常見于半導體、傳感器等領域。
如所述,薄膜微電子需解決材料界面穩定性、工藝精度控制(納米級誤差可能影響性能)等問題。
如需進一步了解具體工藝或案例,可參考專利文獻或半導體制造類資料。
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