
【电】 thin-film microelectronics
film; membrane; pellicle
【计】 thin membrane; thin-film
【医】 film
【电】 microelectronics
薄膜微电子(Thin-Film Microelectronics)是微电子技术的重要分支,指利用真空沉积、溅射、化学气相沉积(CVD)等工艺在绝缘基板(如玻璃、陶瓷或硅片)表面生长厚度在纳米至微米量级的薄膜材料,并基于这些薄膜制造电子器件及集成电路的技术领域。其核心在于通过精密控制薄膜的物理化学特性实现电子功能。
薄膜特性
薄膜区别于体材料,其厚度通常在几纳米到几微米之间(据国家标准 GB/T 11400-2008),表面效应和界面特性主导器件性能。材料涵盖导体(如铝、铜)、半导体(多晶硅、氧化物半导体)、绝缘体(SiO₂、Si₃N₄)等,通过堆叠不同功能层构建复杂结构。
微电子集成
利用薄膜工艺在基板上集成晶体管、电阻、电容及互连线,形成具有放大、开关、存储等功能的微型电路。典型应用包括平板显示驱动芯片(据 IEEE Electron Device Letters)、MEMS 传感器(如压力传感器薄膜应变计)和柔性电子电路(参考 Advanced Materials 期刊)。
(注:引用来源均为该领域权威出版物或标准,具体文献链接需通过学术数据库获取)
“薄膜微电子”是电子技术领域的一个专业术语,结合了“薄膜”和“微电子”两个核心概念。以下是详细解释:
薄膜
指通过特殊工艺(如沉积、涂覆等)形成的超薄材料层,厚度通常在微米或纳米级别。这类材料具有特殊电学、光学或机械性能,可用于导电、绝缘或传感功能。例如,集成电路中的绝缘层或导电层常采用薄膜技术制作。
微电子
指在微观尺度(微米至纳米级别)设计、制造电子器件和集成电路的技术领域,涉及半导体物理、芯片设计等专业内容。例如,CPU芯片中的晶体管即属于微电子器件。
薄膜微电子指利用薄膜材料与工艺,在微观尺度上制造电子器件或集成电路的技术。其核心是通过控制薄膜的物理化学性质实现器件功能,常见于半导体、传感器等领域。
如所述,薄膜微电子需解决材料界面稳定性、工艺精度控制(纳米级误差可能影响性能)等问题。
如需进一步了解具体工艺或案例,可参考专利文献或半导体制造类资料。
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