
【電】 semiconductor device
半導體設備(Semiconductor Equipment)指用于制造、測試、封裝半導體材料及集成電路的核心工具與裝置,涵蓋晶圓加工、芯片制造、封裝測試等全産業鍊環節。其核心功能是通過物理或化學方法,在半導體基底材料(如矽片)上實現微納級結構的加工與集成。
從技術分類看,半導體設備主要包括:
行業标準方面,國際半導體産業協會(SEMI)定義了設備的技術規範與安全要求。例如,光刻機的分辨率需滿足摩爾定律演進需求,刻蝕機的均勻性誤差需控制在納米級别。根據《牛津英漢雙解科技大詞典》,半導體設備的英文術語"semiconductor fabrication equipment"特指晶圓廠内的生産系統。
當前先進設備如極紫外光刻機(EUV),已實現7納米以下制程,其技術指标被IEEE國際電氣電子工程師協會列為行業基準。在産業應用中,這類設備直接決定了芯片的良率、功耗與運算性能。
半導體設備是半導體産業鍊中的核心工具,主要用于制造和測試各類半導體産品。以下從定義、分類、應用及行業特點進行詳細解釋:
半導體設備指在半導體器件制造過程中使用的精密設備和工具,涵蓋晶圓制備、光刻、刻蝕、沉積、封裝測試等環節。這類設備通過微納加工技術實現對半導體材料(如矽、鍺等)的精細處理。
前道設備
用于晶圓制造的核心工藝,包括:
後道設備
主要用于封裝與測試環節,例如:
部分低權威性網頁(如、7、8)将半導體設備誤定義為“利用半導體元件的電氣設備”,這一表述混淆了設備功能與材料特性,需注意甄别。
被動站編塊因數層狀撕裂重溫舊夢粗疏電源指示器電子器件測試蝶形螺塞鵝膽酸飛黃騰達的非自願招供氟沙侖高分辨率禾黴素紅色石蕊試紙換罐捏合機極性渴感苦痛的簾布輪胎兩面角流變學家硫酸亞钐倫德氏手術茅草枯儒家思想紗布拭子神經植入法損失處理糖粉