
【电】 semiconductor device
半导体设备(Semiconductor Equipment)指用于制造、测试、封装半导体材料及集成电路的核心工具与装置,涵盖晶圆加工、芯片制造、封装测试等全产业链环节。其核心功能是通过物理或化学方法,在半导体基底材料(如硅片)上实现微纳级结构的加工与集成。
从技术分类看,半导体设备主要包括:
行业标准方面,国际半导体产业协会(SEMI)定义了设备的技术规范与安全要求。例如,光刻机的分辨率需满足摩尔定律演进需求,刻蚀机的均匀性误差需控制在纳米级别。根据《牛津英汉双解科技大词典》,半导体设备的英文术语"semiconductor fabrication equipment"特指晶圆厂内的生产系统。
当前先进设备如极紫外光刻机(EUV),已实现7纳米以下制程,其技术指标被IEEE国际电气电子工程师协会列为行业基准。在产业应用中,这类设备直接决定了芯片的良率、功耗与运算性能。
半导体设备是半导体产业链中的核心工具,主要用于制造和测试各类半导体产品。以下从定义、分类、应用及行业特点进行详细解释:
半导体设备指在半导体器件制造过程中使用的精密设备和工具,涵盖晶圆制备、光刻、刻蚀、沉积、封装测试等环节。这类设备通过微纳加工技术实现对半导体材料(如硅、锗等)的精细处理。
前道设备
用于晶圆制造的核心工艺,包括:
后道设备
主要用于封装与测试环节,例如:
部分低权威性网页(如、7、8)将半导体设备误定义为“利用半导体元件的电气设备”,这一表述混淆了设备功能与材料特性,需注意甄别。
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