電子束記錄英文解釋翻譯、電子束記錄的近義詞、反義詞、例句
英語翻譯:
【計】 electron beam recording
分詞翻譯:
電子束的英語翻譯:
【計】 E beam
【化】 electron beam
【醫】 electron beam
記錄的英語翻譯:
record; mark; register; account; memorize; report; take notes
【計】 design development record; posting; REC; record
【醫】 protocol; reading; register; registration
【經】 entry; keeping of record; mark; record; record keeping; records
專業解析
電子束記錄 (Electron Beam Recording) 的漢英詞典角度解釋如下:
1.核心定義與翻譯
- 中文術語: 電子束記錄
- 英文對應: Electron Beam Recording (EBR)
- 基本釋義: 指利用高度聚焦的電子束在特定介質(如光刻膠、金屬薄膜或其他敏感材料)表面進行信息寫入或圖案化加工的技術過程。
2.技術原理詳解
- 工作方式: 該技術通過電子光學系統将電子槍發射的電子束聚焦成極細的斑點(可達納米級精度)。此高能電子束在計算機控制下,按照預設的圖案或數據路徑掃描轟擊介質表面。
- 作用機制: 電子束的能量作用于介質,可引起多種物理或化學變化,例如:
- 在光刻膠中誘發交聯或降解反應,形成顯影後所需的微細圖形(光刻應用)。
- 在金屬薄膜上直接蒸發或濺射材料,實現微米或納米結構的直接寫入(微加工應用)。
- 改變材料的晶體結構或磁疇狀态(特定存儲應用)。
3.核心特點與優勢
- 超高分辨率: 得益于電子極短的德布羅意波長,電子束記錄能實現遠超傳統光學方法的分辨率極限,是制造納米尺度結構的關鍵技術。
- 直接寫入能力: 無需預制掩模版(Maskless),可直接根據數字數據在基片上生成複雜圖形,具有極高的靈活性,尤其適合原型開發和小批量生産。
- 精确可控: 電子束的強度、聚焦位置和掃描路徑可通過電磁場精确控制,實現亞微米乃至納米級的定位精度。
4.主要應用領域
- 半導體制造: 用于制造集成電路(IC)的光掩模版(Photomask)以及先進節點的直接光刻(尤其在研發和低産量芯片中)。
- 納米技術與微加工: 制造納米電子器件、光子晶體、微機電系統(MEMS)部件、納米壓印模闆等。
- 高密度數據存儲(曆史/特定領域): 探索用于制作母盤或直接寫入的超高密度存儲介質(盡管商業主流存儲技術已轉向其他方案)。
- 材料科學分析: 結合掃描電子顯微鏡(SEM)等技術,用于微區分析、微結構修改等。
參考來源:
- 《英漢電子工程與計算機科學詞典》 (English-Chinese Dictionary of Electronics Engineering and Computer Science) - 該專業詞典對“Electron Beam Recording”及其在微電子領域的應用有權威定義和解釋。
- 《現代科學技術詞典》 (Modern Scientific and Technical Dictionary) - 提供“電子束記錄”在廣義科技範疇内的技術原理和應用概述。
網絡擴展解釋
“電子束記錄”是一種利用電子束技術進行信息存儲或成像的方法。以下是詳細解釋:
1. 基本定義
電子束記錄法指通過計算機控制電子束偏轉,将文字、圖形等信息直接記錄在感光介質(如幹銀膠片)上的技術。其核心是通過高能電子束的精确聚焦和掃描實現高分辨率記錄。
2. 技術原理
- 電子束生成:由電子槍産生高速電子流,通過25-300kV高壓電場加速至0.3-0.7倍光速。
- 聚焦控制:利用電磁透鏡将電子束會聚成微米級精細束流。
- 偏轉記錄:計算機輸出信號控制電子束在感光膠片上的掃描路徑,通過電子與膠片的相互作用形成潛像。
3. 主要應用
- 成像領域:電子顯微鏡成像、早期電視顯像管。
- 數據存儲:用于特殊場景的高密度信息記錄,如早期計算機輸出設備的幹銀膠片記錄。
- 工業加工:輔助半導體制造中的微細圖形刻畫(參考中薄膜制備原理延伸)。
4. 技術優勢
高能量密度和可控性使其在微米級精度記錄中具有優勢,尤其適用于需要長期保存的模拟信號記錄場景。
注:更完整的技術參數和現代應用案例建議參考專業文獻,部分基礎原理可查看、3、9的原始來源。
分類
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