电子束记录英文解释翻译、电子束记录的近义词、反义词、例句
英语翻译:
【计】 electron beam recording
分词翻译:
电子束的英语翻译:
【计】 E beam
【化】 electron beam
【医】 electron beam
记录的英语翻译:
record; mark; register; account; memorize; report; take notes
【计】 design development record; posting; REC; record
【医】 protocol; reading; register; registration
【经】 entry; keeping of record; mark; record; record keeping; records
专业解析
电子束记录 (Electron Beam Recording) 的汉英词典角度解释如下:
1.核心定义与翻译
- 中文术语: 电子束记录
- 英文对应: Electron Beam Recording (EBR)
- 基本释义: 指利用高度聚焦的电子束在特定介质(如光刻胶、金属薄膜或其他敏感材料)表面进行信息写入或图案化加工的技术过程。
2.技术原理详解
- 工作方式: 该技术通过电子光学系统将电子枪发射的电子束聚焦成极细的斑点(可达纳米级精度)。此高能电子束在计算机控制下,按照预设的图案或数据路径扫描轰击介质表面。
- 作用机制: 电子束的能量作用于介质,可引起多种物理或化学变化,例如:
- 在光刻胶中诱发交联或降解反应,形成显影后所需的微细图形(光刻应用)。
- 在金属薄膜上直接蒸发或溅射材料,实现微米或纳米结构的直接写入(微加工应用)。
- 改变材料的晶体结构或磁畴状态(特定存储应用)。
3.核心特点与优势
- 超高分辨率: 得益于电子极短的德布罗意波长,电子束记录能实现远超传统光学方法的分辨率极限,是制造纳米尺度结构的关键技术。
- 直接写入能力: 无需预制掩模版(Maskless),可直接根据数字数据在基片上生成复杂图形,具有极高的灵活性,尤其适合原型开发和小批量生产。
- 精确可控: 电子束的强度、聚焦位置和扫描路径可通过电磁场精确控制,实现亚微米乃至纳米级的定位精度。
4.主要应用领域
- 半导体制造: 用于制造集成电路(IC)的光掩模版(Photomask)以及先进节点的直接光刻(尤其在研发和低产量芯片中)。
- 纳米技术与微加工: 制造纳米电子器件、光子晶体、微机电系统(MEMS)部件、纳米压印模板等。
- 高密度数据存储(历史/特定领域): 探索用于制作母盘或直接写入的超高密度存储介质(尽管商业主流存储技术已转向其他方案)。
- 材料科学分析: 结合扫描电子显微镜(SEM)等技术,用于微区分析、微结构修改等。
参考来源:
- 《英汉电子工程与计算机科学词典》 (English-Chinese Dictionary of Electronics Engineering and Computer Science) - 该专业词典对“Electron Beam Recording”及其在微电子领域的应用有权威定义和解释。
- 《现代科学技术词典》 (Modern Scientific and Technical Dictionary) - 提供“电子束记录”在广义科技范畴内的技术原理和应用概述。
网络扩展解释
“电子束记录”是一种利用电子束技术进行信息存储或成像的方法。以下是详细解释:
1. 基本定义
电子束记录法指通过计算机控制电子束偏转,将文字、图形等信息直接记录在感光介质(如干银胶片)上的技术。其核心是通过高能电子束的精确聚焦和扫描实现高分辨率记录。
2. 技术原理
- 电子束生成:由电子枪产生高速电子流,通过25-300kV高压电场加速至0.3-0.7倍光速。
- 聚焦控制:利用电磁透镜将电子束会聚成微米级精细束流。
- 偏转记录:计算机输出信号控制电子束在感光胶片上的扫描路径,通过电子与胶片的相互作用形成潜像。
3. 主要应用
- 成像领域:电子显微镜成像、早期电视显像管。
- 数据存储:用于特殊场景的高密度信息记录,如早期计算机输出设备的干银胶片记录。
- 工业加工:辅助半导体制造中的微细图形刻画(参考中薄膜制备原理延伸)。
4. 技术优势
高能量密度和可控性使其在微米级精度记录中具有优势,尤其适用于需要长期保存的模拟信号记录场景。
注:更完整的技术参数和现代应用案例建议参考专业文献,部分基础原理可查看、3、9的原始来源。
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