
【機】 backing pump
fringe; introduction; principium
【法】 opening
【化】 aspirator pump; sucking pump
【醫】 air pump
初步抽氣泵(Preliminary Evacuation Pump)是真空系統中用于實現初始壓力降低的關鍵設備。該設備通過機械或物理方式将密閉容器内的氣體排出,使壓力從大氣壓降至10⁻¹至10²帕斯卡範圍,為高真空泵組創造必要的工作條件。
從工作原理角度,常見類型包括旋片式、渦旋式和活塞式三種。旋片式泵通過偏心轉子與泵腔的容積變化實現氣體壓縮和排放,適用于實驗室場景;渦旋式泵采用動靜渦旋盤的非接觸式齧合,具有低振動特性;活塞式泵則依靠往複運動完成氣體輸運,常見于工業生産線。
國際真空科學與技術協會(IUVSTA)制定的ISO 21360标準明确指出,合格的初步抽氣泵應滿足以下技術參數:極限壓力≤5×10⁻² Pa、抽氣速率≥2.5 m³/h、潤滑油更換周期≥2000小時。這些指标在半導體制造、航天器模拟艙等精密工程領域具有關鍵作用。
在使用維護方面,美國真空學會(AVS)建議每500小時檢測轉子磨損度,并定期更換密封組件。特别需要注意的是,該設備不適用于含腐蝕性氣體或顆粒物的環境,否則可能導緻泵體永久性損壞。
“初步抽氣泵”是一個機械工程領域的專業術語,主要用于真空系統的初期抽氣階段。以下是詳細解釋:
定義與用途
初步抽氣泵(英文:backing pump)是一種輔助型真空泵,通常用于真空系統中為高真空泵(如擴散泵、分子泵)提供預抽真空環境。它的作用是在系統啟動時快速排出大部分氣體,使真空度達到高真空泵的工作阈值。
工作原理
其核心機制與普通抽氣泵類似,通過電機驅動隔膜往複運動,壓縮泵腔内的氣體形成壓力差,從而排出空氣。但因需適應初步抽氣需求,通常設計為更高抽速,但極限真空度相對較低。
特性與分類
與其他泵的區别
相較于高真空泵,初步抽氣泵更注重快速降低系統壓力,而非追求極高真空度。例如,在複合真空系統中,初步抽氣泵需先運行,待壓力降至一定水平後,高真空泵才會啟動。
如需進一步了解具體型號或技術參數,可參考機械工程手冊或真空技術專業文獻。
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