
【机】 backing pump
fringe; introduction; principium
【法】 opening
【化】 aspirator pump; sucking pump
【医】 air pump
初步抽气泵(Preliminary Evacuation Pump)是真空系统中用于实现初始压力降低的关键设备。该设备通过机械或物理方式将密闭容器内的气体排出,使压力从大气压降至10⁻¹至10²帕斯卡范围,为高真空泵组创造必要的工作条件。
从工作原理角度,常见类型包括旋片式、涡旋式和活塞式三种。旋片式泵通过偏心转子与泵腔的容积变化实现气体压缩和排放,适用于实验室场景;涡旋式泵采用动静涡旋盘的非接触式啮合,具有低振动特性;活塞式泵则依靠往复运动完成气体输运,常见于工业生产线。
国际真空科学与技术协会(IUVSTA)制定的ISO 21360标准明确指出,合格的初步抽气泵应满足以下技术参数:极限压力≤5×10⁻² Pa、抽气速率≥2.5 m³/h、润滑油更换周期≥2000小时。这些指标在半导体制造、航天器模拟舱等精密工程领域具有关键作用。
在使用维护方面,美国真空学会(AVS)建议每500小时检测转子磨损度,并定期更换密封组件。特别需要注意的是,该设备不适用于含腐蚀性气体或颗粒物的环境,否则可能导致泵体永久性损坏。
“初步抽气泵”是一个机械工程领域的专业术语,主要用于真空系统的初期抽气阶段。以下是详细解释:
定义与用途
初步抽气泵(英文:backing pump)是一种辅助型真空泵,通常用于真空系统中为高真空泵(如扩散泵、分子泵)提供预抽真空环境。它的作用是在系统启动时快速排出大部分气体,使真空度达到高真空泵的工作阈值。
工作原理
其核心机制与普通抽气泵类似,通过电机驱动隔膜往复运动,压缩泵腔内的气体形成压力差,从而排出空气。但因需适应初步抽气需求,通常设计为更高抽速,但极限真空度相对较低。
特性与分类
与其他泵的区别
相较于高真空泵,初步抽气泵更注重快速降低系统压力,而非追求极高真空度。例如,在复合真空系统中,初步抽气泵需先运行,待压力降至一定水平后,高真空泵才会启动。
如需进一步了解具体型号或技术参数,可参考机械工程手册或真空技术专业文献。
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