
【電】 multilayer interconnection pattern
【計】 multilayer
【化】 multilayer
【計】 IC; interconnection; interlinkage; interlinking
design; pattern
【計】 graphic pattern; pattern
在電子工程領域,"多層互連圖案"(Multilevel Interconnection Pattern)指集成電路中通過堆疊多層金屬導線和介質層形成的三維布線結構,用于實現晶體管之間的電氣連接。其核心構成與功能如下:
結構分層性
由交替堆疊的金屬層(如銅或鋁)和絕緣介質層(如SiO₂或低k介質)構成。每層通過光刻和蝕刻工藝形成特定幾何圖案,層間通過"通孔"(Via)實現垂直互連。該結構解決了二維布線無法滿足高密度集成的瓶頸問題。
核心功能
承擔信號傳輸、電源分配和接地網絡三大功能。高層金屬通常用于全局電源網絡(寬線寬、低電阻),底層金屬負責局部晶體管互連(高精度、窄線寬)。
graph TD
A[晶體管層] --> B[Metal 1]
B --> C[Via 1]
C --> D[Metal 2]
D --> E[...]
E --> F[Top Metal/Pad]
主要用于超大規模集成電路(VLSI),包括:
《Semiconductor Manufacturing Technology》 by Michael Quirk, 詳細描述互連工藝演進(pp. 401-428)Springer Link
2023年關于銅/钴混合互連可靠性的研究 IEEE IITC Proceedings
亞3nm節點Ru互連與空氣隙介質集成方案 IMEC Report
該技術是摩爾定律延續的關鍵使能要素,持續推動芯片性能與能效比的提升。
“多層互連圖案”是一個涉及電子工程和集成電路設計的專業術語,其核心含義可拆解為以下部分:
多層
指在器件或芯片中通過堆疊多個獨立的功能層(如導電層、絕緣層)形成的立體結構。每一層可能承擔不同的功能,例如信號傳輸、電源分配或接地等。
互連
表示不同層之間的電氣連接,通常通過“通孔”(Via)或“矽通孔”(TSV)等結構實現垂直方向的導通,使電流或信號能在層間傳輸。
圖案
指各層上設計的特定幾何圖形布局,例如導線的走向、通孔的位置等。這些圖案需通過光刻、蝕刻等工藝精确制造。
若需更具體的行業标準或工藝細節,建議參考集成電路制造或電子封裝領域的專業文獻。
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