
【計】 metal-nitride-oxide-semiconductor memory; MNOS memory
metal
【化】 metal
【醫】 metal
【經】 metal
【化】 silicon nitride
【化】 monox
【計】 semi-conductor memory; semiconductor memory; semiconductor storage
solid state storage
金屬氮化矽氧化矽半導體存儲器(Metal-Silicon Nitride-Silicon Oxide-Semiconductor Memory)是一種基于多層介質結構的非易失性存儲器件。其核心結構由金屬層、氮化矽(Si₃N₄)電荷陷阱層、氧化矽(SiO₂)隧穿層及半導體襯底組成,通過電荷捕獲機制實現數據存儲。該技術結合了傳統浮栅存儲器和新型電荷陷阱存儲器的優勢,具有高密度、低功耗和抗輻射特性。
金屬電極(Metal Gate)
作為頂層導電材料,金屬電極(如鎢或鋁)用于形成電場控制通道,影響電荷注入效率。金屬材料的選擇直接影響器件的可靠性和讀寫速度。
氮化矽電荷陷阱層(Si₃N₄ Charge Trap Layer)
氮化矽層通過捕獲電子或空穴實現數據存儲,其化學穩定性優于傳統多晶矽浮栅層。電荷保持能力可達10年以上,適用于長期數據保存需求(來源:IEEE Electron Device Letters)。
氧化矽隧穿層(SiO₂ Tunneling Oxide)
厚度約3-5納米的氧化矽層作為電荷隧穿介質,其質量決定擦寫次數和操作電壓。超薄氧化矽可支持10⁵次以上的擦寫循環(來源:《半導體器件物理與工藝》)。
半導體襯底(Semiconductor Substrate)
通常采用p型矽襯底,通過摻雜工藝形成源極和漏極,與介質層共同構成存儲單元的基礎物理結構。三維堆疊版本可進一步提升存儲密度(來源:Nature Electronics)。
“金屬氮化矽氧化矽半導體存儲器”是一種特殊結構的半導體存儲器,其名稱來源于器件中使用的材料層級結構。以下是分點解釋:
術語結構解析
技術特點
這種結構常見于非易失性存儲器(如閃存),利用氮化矽層的電荷陷阱效應存儲數據,即使斷電也能保留信息。氧化矽層則提供絕緣保護,金屬層用于電路連接。
應用場景
主要用于需要高密度、低功耗的存儲設備,例如嵌入式系統或新型存儲器技術(如SONOS結構存儲器)。
該術語描述了一種通過金屬-氮化矽-氧化矽多層結構實現電荷存儲的半導體器件,結合了材料特性和電荷控制技術,屬于非易失性存儲器的一種實現方案。
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