
【計】 transistor deterioration
transistor
【計】 MOS transistor; npn
【化】 transistor
【化】 degradation
【醫】 degradation
晶體管劣化(Transistor Degradation)的漢英詞典解釋與工程分析
一、術語定義
晶體管劣化(晶體管劣化,Transistor Degradation)指半導體器件在長期工作或極端條件下,其電學性能(如阈值電壓、載流子遷移率、開關速度等)逐漸衰退的現象。該過程屬于非災難性失效,表現為參數漂移而非突發性功能喪失,區别于完全損壞(Failure)。英文術語中,"Degradation"強調性能的漸進式衰減,與"Failure"(完全失效)形成技術區分。
二、劣化成因與機制
高電場下,載流子獲得過量動能注入栅氧層,導緻界面态增加,引發阈值電壓((V_{th}))漂移和跨導((g_m))下降。
PMOS晶體管在高溫負偏壓條件下,栅氧層/矽界面産生缺陷,造成 (V_{th}) 正向漂移和驅動電流降低。
大電流密度導緻金屬互連線原子遷移,引起接觸電阻升高或開路。
三、表現與影響
四、檢測與緩解措施
權威參考文獻
注:引用來源為行業标準組織、經典教材及權威期刊,鍊接經核實有效(截至2025年)。
晶體管劣化(transistor deterioration)是指晶體管在長期使用或極端工作條件下,其電學性能逐漸下降的現象。這種現象可能由多種因素引起,主要包括:
氧化物俘獲效應
根據麻省理工學院的研究,InGaAs晶體管在小規模應用中出現的性能劣化,主要與氧化物俘獲有關。當電子通過晶體管時,會被氧化物層中的缺陷“捕獲”,導緻載流子遷移率降低,從而影響開關速度和導電效率。
材料老化
長期承受高電壓或大電流時,晶體管内部材料會發生物理/化學變化,例如電極金屬遷移、半導體晶格損傷等,導緻漏電流增加或阈值電壓漂移。
熱應力影響
高溫工作環境會加速材料退化,特别是功率晶體管中,局部熱點可能引發熱載流子注入效應,進一步加劇性能衰減。
這種現象的後果包括電路響應速度降低、功耗異常升高,甚至引發設備故障。值得注意的是,最新研究表明某些材料的劣化并非其固有特性,而是可通過優化制造工藝(如改進氧化物層質量)來緩解。
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