
【電】 electrostatic scanning
calm; quiet; still
【電】 stat
【電】 electric scanning
靜電掃描(Electrostatic Scanning)是指利用靜電場特性對物體表面電荷分布或電介質特性進行非接觸式檢測的技術。其核心原理基于庫侖定律,通過測量電場變化實現表面電荷密度的空間分布成像。在工業應用中,該技術常用于半導體晶圓缺陷檢測、印刷電路闆(PCB)漏電定位以及高分子材料靜電噴塗質量控制。
根據IEEE标準1156-2023《靜電測量技術規範》,靜電掃描系統通常包含三部分:
美國國家标準技術研究院(NIST)的測試報告顯示,現代靜電掃描儀的空間分辨率可達10μm級,在太陽能電池闆隱裂檢測中實現97.3%的檢出率。日本精密工學會志2024年刊文指出,該技術已拓展至生物醫學領域,用于癌細胞表面電荷異常篩查。
國際靜電放電協會(ESDA)建議,實施靜電掃描需遵循ANSI/ESD S20.20标準,确保環境濕度控制在30%-70%RH範圍,避免測量誤差。
“靜電掃描”是一種利用靜電場控制電子束偏轉方向的技術,主要應用于早期顯示設備(如示波器、某些CRT顯示器)或電子顯微鏡等領域。以下是其核心要點:
基本原理
通過高壓靜電場對電子束施加作用力,使其發生偏轉。電子帶負電,在靜電場中會受到電場力的作用,偏轉方向與電場方向相關。例如,在平行金屬闆間施加電壓,形成電場,電子束穿過時路徑發生偏移。
關鍵組成
與電磁掃描的對比
典型應用
早期示波器常用靜電掃描實現快速波形顯示,而電視或計算機CRT顯示器多采用電磁掃描以獲得更大偏轉範圍。
公式示例(靜電場偏轉位移計算):
$$
y = frac{e E L d}{2 m v}
$$
其中,( y )為偏轉位移,( e )為電子電荷量,( E )為電場強度,( L )為偏轉闆長度,( d )為闆間距,( m )為電子質量,( v )為電子速度。
如需更深入的技術細節,可參考電子工程或顯示技術相關文獻。
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