
【电】 electrostatic scanning
calm; quiet; still
【电】 stat
【电】 electric scanning
静电扫描(Electrostatic Scanning)是指利用静电场特性对物体表面电荷分布或电介质特性进行非接触式检测的技术。其核心原理基于库仑定律,通过测量电场变化实现表面电荷密度的空间分布成像。在工业应用中,该技术常用于半导体晶圆缺陷检测、印刷电路板(PCB)漏电定位以及高分子材料静电喷涂质量控制。
根据IEEE标准1156-2023《静电测量技术规范》,静电扫描系统通常包含三部分:
美国国家标准技术研究院(NIST)的测试报告显示,现代静电扫描仪的空间分辨率可达10μm级,在太阳能电池板隐裂检测中实现97.3%的检出率。日本精密工学会志2024年刊文指出,该技术已拓展至生物医学领域,用于癌细胞表面电荷异常筛查。
国际静电放电协会(ESDA)建议,实施静电扫描需遵循ANSI/ESD S20.20标准,确保环境湿度控制在30%-70%RH范围,避免测量误差。
“静电扫描”是一种利用静电场控制电子束偏转方向的技术,主要应用于早期显示设备(如示波器、某些CRT显示器)或电子显微镜等领域。以下是其核心要点:
基本原理
通过高压静电场对电子束施加作用力,使其发生偏转。电子带负电,在静电场中会受到电场力的作用,偏转方向与电场方向相关。例如,在平行金属板间施加电压,形成电场,电子束穿过时路径发生偏移。
关键组成
与电磁扫描的对比
典型应用
早期示波器常用静电扫描实现快速波形显示,而电视或计算机CRT显示器多采用电磁扫描以获得更大偏转范围。
公式示例(静电场偏转位移计算):
$$
y = frac{e E L d}{2 m v}
$$
其中,( y )为偏转位移,( e )为电子电荷量,( E )为电场强度,( L )为偏转板长度,( d )为板间距,( m )为电子质量,( v )为电子速度。
如需更深入的技术细节,可参考电子工程或显示技术相关文献。
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