
【化】 microprobe analysis
decline; profound; tiny
【計】 mic-; micro-
【醫】 micr-; micro-; mikro-; mu
bougie; probe; stylet
【計】 needle
【化】 probe
【醫】 probe
analyze; construe; analysis; assay
【計】 parser
【化】 analysis; assaying
【醫】 analysis; anslyze
【經】 analyse
微探針分析(Microprobe Analysis)是一種基于微觀尺度對材料成分及結構進行定量檢測的技術手段,其核心原理是通過高能電子束或離子束轟擊樣品表面,激發特征X射線或二次粒子信號,從而獲取元素分布、晶體結構及化學态信息。該術語在漢英詞典中對應"microprobe analysis",強調利用微米級探針實現無損檢測,常用于半導體、地質礦物和生物醫學等領域。
根據國家标準《GB/T 15247-2023 微束分析術語》的定義,該技術包含兩種主流方法:①電子探針顯微分析(EPMA),通過波長色散譜儀測定元素含量,檢測限可達0.01%;②激光剝蝕電感耦合等離子體質譜(LA-ICP-MS),適用于痕量元素檢測。美國材料試驗協會(ASTM E3066-23)特别指出,空間分辨率小于1μm是微探針區别于常規光譜分析的關鍵指标。
在應用權威性方面,中國科學院上海微系統研究所的實踐表明,該技術已成功用于嫦娥五號月壤樣品中稀土元素的納米級分布研究,相關成果發表于《Nature Geoscience》期刊。英國《牛津材料科學手冊》(2024版)第15章詳細論證了微探針在高溫合金晶界偏析分析中的不可替代性。
參考資料:
微探針分析是一種高精度的材料表征技術,主要用于微觀尺度下對材料成分、結構及缺陷進行檢測。以下是其核心要點解釋:
1. 技術原理 基于核微探針(如帶電粒子束)與材料相互作用,通過分析産生的二次粒子或輻射信號(如特征X射線、背散射粒子等)獲取信息。例如,墨爾本大學改進後的核微探針可實現1μm束斑(),具備高空間分辨率。
2. 核心功能
3. 典型應用場景 主要用于半導體材料領域,例如:
4. 技術優勢 相較于傳統光譜分析技術,其優勢體現在:
該技術對半導體器件研發和質量控制具有重要意義,更多技術細節可參考墨爾本大學相關研究文獻()。
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