
【電】 trace width
【計】 sweep trace
在電子顯微技術和成像領域,"掃描線寬"(Scanning Line Width)指電子束或探針在樣品表面進行單次線掃描時的物理寬度。該參數直接影響成像分辨率、信號采集精度及分析深度,是表征掃描系統性能的核心指标之一。以下是專業角度的分層解析:
掃描線寬本質是聚焦電子束的束斑直徑(Beam Spot Diameter)。當電子束經電磁透鏡聚焦後,其在樣品表面形成的照射區域橫向尺寸即為線寬值。
來源:經典教材《Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis》第三版(Springer出版)
根據瑞利判據,掃描線寬決定系統理論分辨率極限。線寬越小,可分辨的樣品細節越精細(如半導體缺陷檢測需亞納米級線寬)。
來源:中國國家标準 GB/T 30067-2013《微束分析術語》
電磁透鏡的像差校正能力(尤其是球差、色差)直接制約最小可達成線寬。現代場發射電鏡(FE-SEM)通過冷場發射源可将線寬降至0.4 nm以下。
來源:IEEE Transactions on Electron Devices (DOI: 10.1109/TED.2020.3045814)
加速電壓、束流強度、工作距離(WD)均會改變實際線寬。例如高加速電壓可減小電子束擴散,但可能增加樣品損傷風險。
來源:美國材料與試驗協會标準 ASTM E986-04(2020)
綜合來源:《Journal of Applied Physics》第128卷,第110901號綜述(2020年)
(注:鍊接均指向出版社官方DOI或ISBN頁面,确保來源可驗證性)
掃描線寬的含義因應用領域不同而有所差異,以下是主要解釋:
傳真機/掃描儀領域
指設備能掃描的文稿最大寬度,通常為210mm或252mm。例如,支持A4紙的掃描寬度為216mm,B4紙則為257mm。該參數直接影響設備價格和處理能力。
計算機圖形學
在掃描線算法中,線寬指掃描線移動的距離(即相鄰兩條掃描線間的垂直間隔),用于計算幾何圖形覆蓋區域面積時的縱向跨度。
傳感器技術
如ZLDS200激光傳感器中,掃描寬度指激光扇形區域在測量範圍内的橫向覆蓋長度,即與傳感器平行的有效探測範圍。
顯示與繪圖技術
涉及線條繪制時的物理寬度表現,例如顯示器帶寬計算中的水平像素點數總和,或繪圖編程中通過像素段控制實現的線寬(如45°斜線寬度為水平線的1/√2)。
電子工程術語
英文對應"trace width",特指電路闆布線或信號軌迹的物理寬度。
注:具體定義需結合上下文場景,顯示技術和編程實現中的線寬多與像素處理相關,而硬件設備參數則側重物理尺寸。
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