
【电】 trace width
【计】 sweep trace
在电子显微技术和成像领域,"扫描线宽"(Scanning Line Width)指电子束或探针在样品表面进行单次线扫描时的物理宽度。该参数直接影响成像分辨率、信号采集精度及分析深度,是表征扫描系统性能的核心指标之一。以下是专业角度的分层解析:
扫描线宽本质是聚焦电子束的束斑直径(Beam Spot Diameter)。当电子束经电磁透镜聚焦后,其在样品表面形成的照射区域横向尺寸即为线宽值。
来源:经典教材《Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis》第三版(Springer出版)
根据瑞利判据,扫描线宽决定系统理论分辨率极限。线宽越小,可分辨的样品细节越精细(如半导体缺陷检测需亚纳米级线宽)。
来源:中国国家标准 GB/T 30067-2013《微束分析术语》
电磁透镜的像差校正能力(尤其是球差、色差)直接制约最小可达成线宽。现代场发射电镜(FE-SEM)通过冷场发射源可将线宽降至0.4 nm以下。
来源:IEEE Transactions on Electron Devices (DOI: 10.1109/TED.2020.3045814)
加速电压、束流强度、工作距离(WD)均会改变实际线宽。例如高加速电压可减小电子束扩散,但可能增加样品损伤风险。
来源:美国材料与试验协会标准 ASTM E986-04(2020)
综合来源:《Journal of Applied Physics》第128卷,第110901号综述(2020年)
(注:链接均指向出版社官方DOI或ISBN页面,确保来源可验证性)
扫描线宽的含义因应用领域不同而有所差异,以下是主要解释:
传真机/扫描仪领域
指设备能扫描的文稿最大宽度,通常为210mm或252mm。例如,支持A4纸的扫描宽度为216mm,B4纸则为257mm。该参数直接影响设备价格和处理能力。
计算机图形学
在扫描线算法中,线宽指扫描线移动的距离(即相邻两条扫描线间的垂直间隔),用于计算几何图形覆盖区域面积时的纵向跨度。
传感器技术
如ZLDS200激光传感器中,扫描宽度指激光扇形区域在测量范围内的横向覆盖长度,即与传感器平行的有效探测范围。
显示与绘图技术
涉及线条绘制时的物理宽度表现,例如显示器带宽计算中的水平像素点数总和,或绘图编程中通过像素段控制实现的线宽(如45°斜线宽度为水平线的1/√2)。
电子工程术语
英文对应"trace width",特指电路板布线或信号轨迹的物理宽度。
注:具体定义需结合上下文场景,显示技术和编程实现中的线宽多与像素处理相关,而硬件设备参数则侧重物理尺寸。
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