切割芯片英文解釋翻譯、切割芯片的近義詞、反義詞、例句
英語翻譯:
【計】 diced chip
分詞翻譯:
切割的英語翻譯:
incise; incision
芯片的英語翻譯:
【計】 CMOS chip; static RAM chip
專業解析
在電子工程和半導體制造領域,“切割芯片”通常指将制造完成的晶圓(Wafer)分割成單個獨立芯片(Die)的關鍵工藝步驟。其對應的标準英文術語為Wafer Dicing 或Chip Dicing。
詳細解釋:
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工藝本質:
- 半導體制造流程中,數百甚至數千個相同的集成電路(芯片)會同時制作在一片矽晶圓上。晶圓制造完成後,“切割芯片”就是使用精密設備沿着預先設計好的切割道(Scribe Lines),将整片晶圓分割成一個個獨立的、包含完整電路功能的小方塊(即單個芯片)。
- 英文釋義:Wafer dicing is the process by which individual semiconductor chips (dies) are separated from a wafer of semiconductor material after the completion of the front-end-of-line (FEOL) and back-end-of-line (BEOL) fabrication processes.
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主要切割方法:
- 刀片切割(Blade Dicing / Mechanical Sawing): 使用高速旋轉、鍍有金剛石顆粒的超薄刀片進行物理切割。這是最傳統且廣泛應用的技術,適用于大多數材料,但可能産生較大的切縫寬度(Kerf Loss)和機械應力,導緻芯片邊緣産生微裂紋或崩邊(Chipping)。
- 激光切割(Laser Dicing): 利用高能量激光束(通常是紅外或紫外激光)燒蝕或改性材料實現切割。優勢在于非接觸、精度高、切縫窄、熱影響區小、適用于超薄晶圓和易碎材料(如 GaAs, GaN)。常見技術包括燒蝕切割(Laser Ablation)和隱形切割(Stealth Dicing)。
- 隱形切割(Stealth Dicing, SD): 一種特殊的激光切割技術。激光聚焦于晶圓内部而非表面,在材料内部形成改質層,然後通過外部施加的擴張力使晶圓沿改質層整齊裂開。此方法幾乎無粉塵、無崩邊、切縫極窄,特别適合超薄晶圓和需要高邊緣質量的芯片。
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工藝步驟與關鍵考量:
- 準備: 晶圓背面可能已貼有切割膠帶(Dicing Tape)并固定在金屬環(Frame)上以提供支撐。
- 對準: 高精度視覺系統識别晶圓上的切割道和對準标記。
- 切割: 根據預設程式,使用選定的切割方法(刀片或激光)沿切割道進行切割。
- 清洗: 切割後需清洗去除切割産生的碎屑(Slurry)或熔渣(Dross)。
- 檢測: 檢查芯片邊緣質量(崩邊、裂紋)、切割精度和完整性。
- 關鍵參數: 切割速度、切割深度、切縫寬度、崩邊尺寸、切割方向、冷卻方式(刀片切割通常需要水冷卻)等。這些參數直接影響芯片的良率、可靠性和後續封裝工藝。
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重要性:
- 這是半導體制造中晶圓加工(Wafer Fabrication)與芯片封裝(Packaging)之間的橋梁工序。
- 切割質量直接影響芯片的機械強度、電氣性能和最終産品的可靠性。邊緣缺陷可能導緻芯片在後續處理或使用中失效。
- 切割效率(速度、良率)和材料利用率(切縫寬度)對生産成本有顯著影響。
權威參考來源:
- 國際半導體産業協會(SEMI) 制定了晶圓切割相關的多項标準(如設備接口、材料規範),是行業公認的權威機構。其官網包含大量技術資源和标準文檔(需訂閱訪問)。
- IEEE Xplore 數字圖書館 收錄了大量關于先進切割技術(如激光切割、隱形切割)的學術論文和研究報告,提供了深入的技術原理和實驗數據。
- 領先半導體設備制造商的技術文檔: 例如 DISCO Corporation(迪斯科,全球領先的切割設備商)、東京精密(ACCRETECH)、應用材料(Applied Materials)等公司在其官網發布的技術白皮書和應用筆記,詳細介紹了各種切割技術的原理、優勢、適用場景和最新進展。
- 行業權威媒體與技術網站: 如《Semiconductor Today》、《Solid State Technology》等期刊網站經常發布關于半導體制造工藝(包括切割技術)的綜述和前沿報道。
網絡擴展解釋
切割芯片是半導體制造中的關鍵工藝,指将完成電路制作的晶圓分割成獨立小芯片的過程,為後續封裝和測試做準備。以下是詳細解釋:
一、核心定義與作用
切割芯片(又稱晶圓劃片/Dicing)是指通過機械或激光手段,将晶圓上成千上萬個集成電路單元(Die)分離成獨立芯片的工序。這一步驟直接影響芯片的物理完整性和性能表現,是連接晶圓制造與封裝的核心環節。
二、工藝流程要點
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晶圓準備
晶圓在完成光刻、刻蝕等前道工序後,表面已形成完整的電路結構。此時晶圓為直徑8/12英寸的圓形矽片,厚度約0.7mm。
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切割方法
- 機械刀片切割:采用高速旋轉的金剛石砂輪(轉速達3-6萬轉/分鐘),適用于大多數傳統芯片。
- 激光切割:通過激光燒蝕材料(如紫外激光),精度更高且適用于超薄晶圓。
- 隱形切割(Stealth Dicing):先進工藝,利用激光在晶圓内部形成改性層,再通過擴展膠膜分離芯片,可減少碎屑和損傷。
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輔助工藝
切割前需在晶圓背面貼附UV膠帶,防止芯片散落;切割後通過清洗、顯微鏡檢測剔除有裂紋或毛刺的芯片。
三、技術挑戰與發展
- 精度要求:切割道寬度已縮小至30μm以下,需避免損傷電路區。
- 材料適配:碳化矽(SiC)、氮化镓(GaN)等第三代半導體材料對切割工藝提出更高要求。
- 效率提升:12英寸晶圓的切割速度需達到300mm/秒以上,同時維持良率。
四、應用場景延伸
除半導體芯片外,類似技術也應用于MEMS傳感器、LED晶圓等領域。部分特殊場景(如智能鞋内置芯片)會涉及芯片移除操作,但屬于消費電子應用範疇。
提示:如需了解具體設備的參數或工藝流程視頻,可參考騰訊雲開發者社區和化工儀器網的行業白皮書。
分類
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