切割芯片英文解释翻译、切割芯片的近义词、反义词、例句
英语翻译:
【计】 diced chip
分词翻译:
切割的英语翻译:
incise; incision
芯片的英语翻译:
【计】 CMOS chip; static RAM chip
专业解析
在电子工程和半导体制造领域,“切割芯片”通常指将制造完成的晶圆(Wafer)分割成单个独立芯片(Die)的关键工艺步骤。其对应的标准英文术语为Wafer Dicing 或Chip Dicing。
详细解释:
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工艺本质:
- 半导体制造流程中,数百甚至数千个相同的集成电路(芯片)会同时制作在一片硅晶圆上。晶圆制造完成后,“切割芯片”就是使用精密设备沿着预先设计好的切割道(Scribe Lines),将整片晶圆分割成一个个独立的、包含完整电路功能的小方块(即单个芯片)。
- 英文释义:Wafer dicing is the process by which individual semiconductor chips (dies) are separated from a wafer of semiconductor material after the completion of the front-end-of-line (FEOL) and back-end-of-line (BEOL) fabrication processes.
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主要切割方法:
- 刀片切割(Blade Dicing / Mechanical Sawing): 使用高速旋转、镀有金刚石颗粒的超薄刀片进行物理切割。这是最传统且广泛应用的技术,适用于大多数材料,但可能产生较大的切缝宽度(Kerf Loss)和机械应力,导致芯片边缘产生微裂纹或崩边(Chipping)。
- 激光切割(Laser Dicing): 利用高能量激光束(通常是红外或紫外激光)烧蚀或改性材料实现切割。优势在于非接触、精度高、切缝窄、热影响区小、适用于超薄晶圆和易碎材料(如 GaAs, GaN)。常见技术包括烧蚀切割(Laser Ablation)和隐形切割(Stealth Dicing)。
- 隐形切割(Stealth Dicing, SD): 一种特殊的激光切割技术。激光聚焦于晶圆内部而非表面,在材料内部形成改质层,然后通过外部施加的扩张力使晶圆沿改质层整齐裂开。此方法几乎无粉尘、无崩边、切缝极窄,特别适合超薄晶圆和需要高边缘质量的芯片。
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工艺步骤与关键考量:
- 准备: 晶圆背面可能已贴有切割胶带(Dicing Tape)并固定在金属环(Frame)上以提供支撑。
- 对准: 高精度视觉系统识别晶圆上的切割道和对准标记。
- 切割: 根据预设程序,使用选定的切割方法(刀片或激光)沿切割道进行切割。
- 清洗: 切割后需清洗去除切割产生的碎屑(Slurry)或熔渣(Dross)。
- 检测: 检查芯片边缘质量(崩边、裂纹)、切割精度和完整性。
- 关键参数: 切割速度、切割深度、切缝宽度、崩边尺寸、切割方向、冷却方式(刀片切割通常需要水冷却)等。这些参数直接影响芯片的良率、可靠性和后续封装工艺。
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重要性:
- 这是半导体制造中晶圆加工(Wafer Fabrication)与芯片封装(Packaging)之间的桥梁工序。
- 切割质量直接影响芯片的机械强度、电气性能和最终产品的可靠性。边缘缺陷可能导致芯片在后续处理或使用中失效。
- 切割效率(速度、良率)和材料利用率(切缝宽度)对生产成本有显著影响。
权威参考来源:
- 国际半导体产业协会(SEMI) 制定了晶圆切割相关的多项标准(如设备接口、材料规范),是行业公认的权威机构。其官网包含大量技术资源和标准文档(需订阅访问)。
- IEEE Xplore 数字图书馆 收录了大量关于先进切割技术(如激光切割、隐形切割)的学术论文和研究报告,提供了深入的技术原理和实验数据。
- 领先半导体设备制造商的技术文档: 例如 DISCO Corporation(迪斯科,全球领先的切割设备商)、东京精密(ACCRETECH)、应用材料(Applied Materials)等公司在其官网发布的技术白皮书和应用笔记,详细介绍了各种切割技术的原理、优势、适用场景和最新进展。
- 行业权威媒体与技术网站: 如《Semiconductor Today》、《Solid State Technology》等期刊网站经常发布关于半导体制造工艺(包括切割技术)的综述和前沿报道。
网络扩展解释
切割芯片是半导体制造中的关键工艺,指将完成电路制作的晶圆分割成独立小芯片的过程,为后续封装和测试做准备。以下是详细解释:
一、核心定义与作用
切割芯片(又称晶圆划片/Dicing)是指通过机械或激光手段,将晶圆上成千上万个集成电路单元(Die)分离成独立芯片的工序。这一步骤直接影响芯片的物理完整性和性能表现,是连接晶圆制造与封装的核心环节。
二、工艺流程要点
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晶圆准备
晶圆在完成光刻、刻蚀等前道工序后,表面已形成完整的电路结构。此时晶圆为直径8/12英寸的圆形硅片,厚度约0.7mm。
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切割方法
- 机械刀片切割:采用高速旋转的金刚石砂轮(转速达3-6万转/分钟),适用于大多数传统芯片。
- 激光切割:通过激光烧蚀材料(如紫外激光),精度更高且适用于超薄晶圆。
- 隐形切割(Stealth Dicing):先进工艺,利用激光在晶圆内部形成改性层,再通过扩展胶膜分离芯片,可减少碎屑和损伤。
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辅助工艺
切割前需在晶圆背面贴附UV胶带,防止芯片散落;切割后通过清洗、显微镜检测剔除有裂纹或毛刺的芯片。
三、技术挑战与发展
- 精度要求:切割道宽度已缩小至30μm以下,需避免损伤电路区。
- 材料适配:碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等第三代半导体材料对切割工艺提出更高要求。
- 效率提升:12英寸晶圆的切割速度需达到300mm/秒以上,同时维持良率。
四、应用场景延伸
除半导体芯片外,类似技术也应用于MEMS传感器、LED晶圆等领域。部分特殊场景(如智能鞋内置芯片)会涉及芯片移除操作,但属于消费电子应用范畴。
提示:如需了解具体设备的参数或工艺流程视频,可参考腾讯云开发者社区和化工仪器网的行业白皮书。
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