薄层电阻英文解释翻译、薄层电阻的近义词、反义词、例句

英语翻译：

【计】 sheet resistance

lamella; lamina

resistance
【计】 ohmic resistance; R
【化】 resistance
【医】 resistance

薄层电阻（Sheet Resistance）是半导体材料和薄膜导电特性评估的核心参数之一，其定义为材料单位面积表面上的电阻值，英文术语对应"sheet resistance"或"surface resistivity"（来源：《电子工程基础手册》第3版）。该参数通过范德堡四探针法测量，计算公式为：

R_s = frac{pi}{ln2} cdot frac{V}{I}

式中$R_s$代表薄层电阻，$V$为电压，$I$为电流（来源：美国国家标准与技术研究院NIST技术报告）。

在集成电路制造中，薄层电阻的单位Ω/□（欧姆每方块）用于表征掺杂半导体或金属薄膜的导电均匀性，该单位源自正方形几何结构下电阻值与尺寸无关的特性（来源：IEEE电子器件协会技术文档）。例如，硅晶圆离子注入层的薄层电阻控制精度直接影响晶体管导通特性。

国际半导体技术路线图（ITRS）指出，先进制程芯片要求薄层电阻值波动范围小于±5%，这对化学机械抛光和退火工艺提出严苛要求（来源：《半导体制造技术导论》）。测量设备推荐使用四点探针仪或非接触涡流法，前者精度可达0.1%，后者适用于超薄氧化铟锡(ITO)薄膜检测（来源：日本电子材料学会年度报告）。

薄层电阻（Sheet Resistance）是衡量均匀厚度薄膜材料导电特性的重要参数，常用于半导体、电子元件等领域。以下为详细解释：

定义与公式
薄层电阻表示为材料单位面积内的电阻特性，计算公式为： $$ R_s = frac{rho}{t} $$ 其中，(rho)为材料的体电阻率，(t)为薄膜厚度，单位为欧姆每平方（Ω/□）。
与普通电阻的区别
普通电阻（R）与材料的几何形状（长度、横截面积）相关，而薄层电阻独立于材料表面积，仅反映材料本身的导电能力。例如，无论方块边长如何变化，只要长宽比例一致，其薄层电阻值不变。
测量方法
常用四探针法（四点探针测量）直接测量，或通过涡流测试等非接触方式间接测量。这些方法可避免接触电阻对结果的影响，提高精度。
应用场景
- 半导体掺杂区域（如硅基芯片）的性能评估；
- 厚膜混合微电路中丝网印刷电阻的质量控制；
- 金属镀层、玻璃涂层的导电性检测。

薄层电阻的测量对集成电路制造、太阳能电池等领域的工艺优化具有重要意义。如需进一步了解测量设备或具体案例，可参考相关技术文献。