
【化】 ion microprobe mass spectrometer
ion
【化】 ion
【医】 ion
【计】 microprobe
【医】 mass spectrometer
离子微探针质谱计(Ion Microprobe Mass Spectrometer)是一种结合微区离子束激发与质谱分析技术的高灵敏度表面分析仪器,主要用于固体样品的元素和同位素组成研究。其英文术语由三部分构成:"Ion"(离子)指带电粒子,"Microprobe"(微探针)表示微米级空间分辨能力,"Mass Spectrometer"(质谱计)则体现其通过质荷比分离检测离子的核心功能。
该仪器的工作原理基于二次离子质谱(SIMS)技术:通过聚焦的一次离子束(如O⁻或Cs⁺)轰击样品表面,激发出二次离子。这些二次离子经质量分析器分离后,由检测系统定量记录,获得样品表面微区(通常1-50μm)的化学信息。其质量分辨率可达10,000以上,检测限低至ppb级,在地球化学和核工业领域应用广泛。
根据美国国家标准与技术研究院(NIST)的技术文档,离子微探针质谱计的关键参数包括横向分辨率、质量分辨率和传输效率。典型仪器采用双聚焦磁场设计,配备多接收器系统以同步检测多个同位素信号。在半导体行业,该技术被用于芯片掺杂元素的三维分布分析;在行星科学中,NASA曾利用该设备解析月球陨石样本的同位素年龄。
离子微探针质谱计(Ion Microprobe Mass Spectrometer)是一种结合微区采样与质谱分析的高精度仪器,主要用于材料表面或微区的元素及同位素分析。以下从原理、结构、特点和应用四方面进行解释:
数据参考:现代离子微探针质谱计的分辨率可达10⁵-10⁶,质量精度达小数点后7位。需注意,样品需真空环境处理,且不同材料需特定制备方法。
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