
【化】 ion microprobe mass spectrometer
ion
【化】 ion
【醫】 ion
【計】 microprobe
【醫】 mass spectrometer
離子微探針質譜計(Ion Microprobe Mass Spectrometer)是一種結合微區離子束激發與質譜分析技術的高靈敏度表面分析儀器,主要用于固體樣品的元素和同位素組成研究。其英文術語由三部分構成:"Ion"(離子)指帶電粒子,"Microprobe"(微探針)表示微米級空間分辨能力,"Mass Spectrometer"(質譜計)則體現其通過質荷比分離檢測離子的核心功能。
該儀器的工作原理基于二次離子質譜(SIMS)技術:通過聚焦的一次離子束(如O⁻或Cs⁺)轟擊樣品表面,激發出二次離子。這些二次離子經質量分析器分離後,由檢測系統定量記錄,獲得樣品表面微區(通常1-50μm)的化學信息。其質量分辨率可達10,000以上,檢測限低至ppb級,在地球化學和核工業領域應用廣泛。
根據美國國家标準與技術研究院(NIST)的技術文檔,離子微探針質譜計的關鍵參數包括橫向分辨率、質量分辨率和傳輸效率。典型儀器采用雙聚焦磁場設計,配備多接收器系統以同步檢測多個同位素信號。在半導體行業,該技術被用于芯片摻雜元素的三維分布分析;在行星科學中,NASA曾利用該設備解析月球隕石樣本的同位素年齡。
離子微探針質譜計(Ion Microprobe Mass Spectrometer)是一種結合微區采樣與質譜分析的高精度儀器,主要用于材料表面或微區的元素及同位素分析。以下從原理、結構、特點和應用四方面進行解釋:
數據參考:現代離子微探針質譜計的分辨率可達10⁵-10⁶,質量精度達小數點後7位。需注意,樣品需真空環境處理,且不同材料需特定制備方法。
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