
硅烷(Silane)是一种由硅和氢元素组成的无机化合物,化学式为SiH₄,是硅的氢化物中最简单的形式。根据国际纯粹与应用化学联合会(IUPAC)命名规则,其英文名称“silane”源自硅(silicon)与烷烃(alkane)的词根组合。
从化学性质看,硅烷在常温下为无色气体,具有自燃性,暴露于空气中会迅速氧化生成二氧化硅和水,反应方程式为:
$$
ce{SiH4 + 2O2 -> SiO2 + 2H2O}
$$
其分子结构呈正四面体,键角约109.5°,与甲烷结构类似,但化学活性更高。
在工业应用中,硅烷主要用于半导体制造中的化学气相沉积(CVD)工艺,以及作为生产高纯度多晶硅的原料。此外,硅烷衍生物(如硅烷偶联剂)在橡胶、涂料和密封材料中可增强界面结合力。
安全方面,硅烷被归类为易燃易爆气体,储存需避免与氧化剂接触,操作时应配备防爆设备和呼吸防护装置。美国职业安全与健康管理局(OSHA)规定其工作环境暴露限值(PEL)为5 ppm。
硅烷是硅与氢组成的化合物,其结构与烷烃类似,通式为$text{Si}ntext{H}{2n+2}$,其中最常见的是甲硅烷(SiH₄)。以下是详细解析:
化学组成
硅烷由硅和氢元素构成,属于硅氢化合物,分子通式为$text{Si}ntext{H}{2n+2}$。甲硅烷(SiH₄)是最简单的硅烷,结构与甲烷(CH₄)类似,但化学性质更活泼。
物理性质
高反应活性
安全风险
需在惰性气体(如氮气)环境中密封保存,远离火源和氧化剂,操作时需佩戴防毒面具和防火装备。
硅烷作为高活性气体,在尖端工业中不可或缺,但需严格遵循安全规范。更多技术细节可参考半导体制造及化学安全相关文献。
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