
矽烷(Silane)是一種由矽和氫元素組成的無機化合物,化學式為SiH₄,是矽的氫化物中最簡單的形式。根據國際純粹與應用化學聯合會(IUPAC)命名規則,其英文名稱“silane”源自矽(silicon)與烷烴(alkane)的詞根組合。
從化學性質看,矽烷在常溫下為無色氣體,具有自燃性,暴露于空氣中會迅速氧化生成二氧化矽和水,反應方程式為:
$$
ce{SiH4 + 2O2 -> SiO2 + 2H2O}
$$
其分子結構呈正四面體,鍵角約109.5°,與甲烷結構類似,但化學活性更高。
在工業應用中,矽烷主要用于半導體制造中的化學氣相沉積(CVD)工藝,以及作為生産高純度多晶矽的原料。此外,矽烷衍生物(如矽烷偶聯劑)在橡膠、塗料和密封材料中可增強界面結合力。
安全方面,矽烷被歸類為易燃易爆氣體,儲存需避免與氧化劑接觸,操作時應配備防爆設備和呼吸防護裝置。美國職業安全與健康管理局(OSHA)規定其工作環境暴露限值(PEL)為5 ppm。
矽烷是矽與氫組成的化合物,其結構與烷烴類似,通式為$text{Si}ntext{H}{2n+2}$,其中最常見的是甲矽烷(SiH₄)。以下是詳細解析:
化學組成
矽烷由矽和氫元素構成,屬于矽氫化合物,分子通式為$text{Si}ntext{H}{2n+2}$。甲矽烷(SiH₄)是最簡單的矽烷,結構與甲烷(CH₄)類似,但化學性質更活潑。
物理性質
高反應活性
安全風險
需在惰性氣體(如氮氣)環境中密封保存,遠離火源和氧化劑,操作時需佩戴防毒面具和防火裝備。
矽烷作為高活性氣體,在尖端工業中不可或缺,但需嚴格遵循安全規範。更多技術細節可參考半導體制造及化學安全相關文獻。
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