
【计】 MAOS
【计】 metal alumina-oxide-silicon
semiconductor
【计】 quasi-conductor; SC
【化】 semiconductor
【医】 semiconductor
金属氧化铝氧化硅半导体(Metal-Alumina-Silicon-Oxide-Semiconductor,简称MASOS)是一种复合结构的半导体器件材料体系,其核心是通过多层薄膜堆叠实现特定电学性能。以下从汉英词典角度分层解释其构成与功能:
金属(Metal)
作为栅电极材料,通常选用铝(Al)、铜(Cu)或多晶硅。功能:施加电场控制沟道载流子浓度。
英文对照:Gate electrode material (e.g., Al, Cu)
氧化铝(Alumina, Al₂O₃)
高介电常数(high-κ)绝缘层,替代传统二氧化硅以减小漏电流。特性:介电常数≈9,热稳定性高。
英文对照:High-κ dielectric layer
氧化硅(Silicon Oxide, SiO₂)
缓冲层或界面层,位于氧化铝与硅基底之间,减少界面缺陷。厚度通常<1nm。
英文对照:Interfacial layer (IL)
半导体(Semiconductor)
单晶硅(Si)衬底,形成导电沟道。通过掺杂调控载流子类型(N/P型)。
英文对照:Silicon substrate
典型MASOS电容器 或晶体管 结构如下:
金属栅(Metal Gate)
↓
氧化铝绝缘层(Al₂O₃)
↓
氧化硅界面层(SiO₂)
↓
硅衬底(Si Substrate)
该结构通过高-κ/金属栅(HKMG)技术,解决传统MOSFET中多晶硅耗尽和隧穿漏电问题,提升器件缩放能力。
第12章详述高-κ介质/金属栅集成技术。
刊载氧化铝/氧化硅叠层界面优化方案(DOI: 10.1109/LED.2020.3049054)。
分析Al₂O₃/SiO₂/Si体系的能带对齐机制(Vol.7, 021402)。
参数 | 传统SiO₂栅极 | MASOS结构 |
---|---|---|
等效氧化层厚度 | ≥1.2nm | ≤0.8nm |
栅极漏电流 | 10⁻³ A/cm² | 10⁻⁷ A/cm² |
热稳定性 | 800℃ | 1000℃ |
此结构通过材料协同优化,满足后摩尔时代器件微缩需求,相关技术已被台积电、英特尔等厂商商用化。
以下是关于四个术语的详细解释:
金属是一类具有良好导电性(通常在$10-10 , text{S/m}$)、导热性和延展性的元素或合金。它们通过自由电子导电,常见于导线、建筑材料等领域。由于搜索结果未直接涉及金属的定义,此处为常识性补充。
一种电绝缘体材料,具备以下特性:
主要性质及用途参考:
导电性介于导体和绝缘体之间的材料($10^{-8}-10 , text{S/m}$),特性如下:
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