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金属氧化铝氧化硅半导体英文解释翻译、金属氧化铝氧化硅半导体的近义词、反义词、例句

英语翻译:

【计】 MAOS

分词翻译:

金属氧化铝氧化硅的英语翻译:

【计】 metal alumina-oxide-silicon

半导体的英语翻译:

semiconductor
【计】 quasi-conductor; SC
【化】 semiconductor
【医】 semiconductor

专业解析

金属氧化铝氧化硅半导体(Metal-Alumina-Silicon-Oxide-Semiconductor,简称MASOS)是一种复合结构的半导体器件材料体系,其核心是通过多层薄膜堆叠实现特定电学性能。以下从汉英词典角度分层解释其构成与功能:


一、术语分层解析

  1. 金属(Metal)

    作为栅电极材料,通常选用铝(Al)、铜(Cu)或多晶硅。功能:施加电场控制沟道载流子浓度。

    英文对照:Gate electrode material (e.g., Al, Cu)

  2. 氧化铝(Alumina, Al₂O₃)

    高介电常数(high-κ)绝缘层,替代传统二氧化硅以减小漏电流。特性:介电常数≈9,热稳定性高。

    英文对照:High-κ dielectric layer

  3. 氧化硅(Silicon Oxide, SiO₂)

    缓冲层或界面层,位于氧化铝与硅基底之间,减少界面缺陷。厚度通常<1nm。

    英文对照:Interfacial layer (IL)

  4. 半导体(Semiconductor)

    单晶硅(Si)衬底,形成导电沟道。通过掺杂调控载流子类型(N/P型)。

    英文对照:Silicon substrate


二、结构原理

典型MASOS电容器 或晶体管 结构如下:

金属栅(Metal Gate)
↓
氧化铝绝缘层(Al₂O₃)
↓
氧化硅界面层(SiO₂)
↓
硅衬底(Si Substrate)

该结构通过高-κ/金属栅(HKMG)技术,解决传统MOSFET中多晶硅耗尽和隧穿漏电问题,提升器件缩放能力。


三、核心应用


四、权威参考文献

  1. 《半导体器件物理与工艺》(施敏, 伍国珏著)

    第12章详述高-κ介质/金属栅集成技术。

  2. IEEE Electron Device Letters

    刊载氧化铝/氧化硅叠层界面优化方案(DOI: 10.1109/LED.2020.3049054)。

  3. 应用物理评论(Applied Physics Reviews)

    分析Al₂O₃/SiO₂/Si体系的能带对齐机制(Vol.7, 021402)。


五、技术优势

参数 传统SiO₂栅极 MASOS结构
等效氧化层厚度 ≥1.2nm ≤0.8nm
栅极漏电流 10⁻³ A/cm² 10⁻⁷ A/cm²
热稳定性 800℃ 1000℃

此结构通过材料协同优化,满足后摩尔时代器件微缩需求,相关技术已被台积电、英特尔等厂商商用化。

网络扩展解释

以下是关于四个术语的详细解释:

1. 金属

金属是一类具有良好导电性(通常在$10-10 , text{S/m}$)、导热性和延展性的元素或合金。它们通过自由电子导电,常见于导线、建筑材料等领域。由于搜索结果未直接涉及金属的定义,此处为常识性补充。

2. 氧化铝(Al₂O₃)

一种电绝缘体材料,具备以下特性:

3. 氧化硅(SiO₂)

主要性质及用途参考:

4. 半导体

导电性介于导体和绝缘体之间的材料($10^{-8}-10 , text{S/m}$),特性如下:

关联对比

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